沈正祥
- 作品数：121 被引量：133H指数：7
- 供职机构：同济大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重大科学仪器设备开发专项国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术被引量：14
- 2010年
- 制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测,讨论了缺陷尺寸与散射信号强度、磨料粒径与损伤层深度间的对应关系;同时,采用化学腐蚀处理技术对抛光后样品的亚表面形貌进行了刻蚀研究,分析了化学反应生成物和亚表面缺陷对刻蚀速率的影响、不同深度下亚表面缺陷的分布特征,以及均方根粗糙度与刻蚀深度间的联系。根据各道加工工艺的不同采用了相应的亚表面检测技术,由此来确定下一道加工工序,合理的去除深度,最终获得了极低亚表面损伤的超光滑光学基底。
- 马彬沈正祥张众贺鹏飞季一勤刘华松刘丹丹王占山
- 关键词：亚表面损伤层光散射化学腐蚀刻蚀速率
- 一种校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法
- 本发明涉及一种校准光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率的方法。分形表面的功率谱密度曲线在对数坐标下是斜率为-n的直线。利用这一规律，采用原子力显微镜对符合分形表面的样品在不同范围内(10μm×10μm、5μm×5μm、2μm...
- 王占山马爽陈晟昊蒋励沈正祥
- 文献传递
- X射线聚焦望远镜紧凑嵌套式平面正交型结构及设计方法
- 本发明涉及一种X射线聚焦望远镜紧凑嵌套式平面正交型结构及设计方法，所述结构的入瞳为正方形，包括正交组合的前镜和后镜，所述前镜和后镜均由多个正方形的平面反射镜呈一定倾角嵌套而成，每一层平面反射镜分别将入射的平行光线聚焦到像...
- 王占山廖颖宇沈正祥
- 一种基于子孔径拼接的高精度平面光学元件面型检测方法
- 本发明涉及一种基于子孔径拼接的高精度平面光学元件面型检测方法。所述检测装置包括：二维平移台、干涉仪和标准平面透镜，具体步骤为：将所述平面光学元件固定在二维平移台上，干涉仪对准所述平面光学元件的位置；调节二维平移台到达指定...
- 沈正祥徐旭东孙晓雁王晓强马彬程鑫彬王占山
- 文献传递
- 一种双波长光束抖动和指向性的测量装置及方法
- 本发明涉及一种双波长光束抖动和指向性的测量装置及方法，该装置包括：激光输出模块：该模块包括He‑Ne激光器和电机，用于电机与待测激光器或He‑Ne激光器连接；能量平衡模块：该模块包括分光镜和衰减片，分光镜设于待测激光器之...
- 马彬郑湘粤沈正祥张锦龙王占山周雷何春伶颜冬月陈易凡
- 一种基于光学斩波器的激光抖动校准测量装置及方法
- 本发明涉及一种基于光学斩波器的激光抖动校准测量装置及方法，装置包括He‑Ne激光器、光学斩波器、光束质量分析仪、光电二极管、示波器和数字信号延时发生器，He‑Ne激光器发射出连续激光形成光路，光路上依次设有光学斩波器和光...
- 马彬潘俏菲王占山沈正祥颜冬月何春伶郑湘粤
- 一种结合轮廓仪和干涉仪检测轮胎镜曲率半径的方法
- 本发明涉及一种结合轮廓仪和干涉仪检测轮胎镜曲率半径的方法，针对轮胎镜面的特点，采用干涉法检测轮胎镜面的小曲率半径和大曲率半径，包括：小曲率半径检测步骤，通过光学轮廓仪获取轮胎镜的实测表面形貌，提取沿小曲率半径方向的轮廓数...
- 沈正祥张众黄秋实
- 文献传递
- 基于微扫描的红外偏振成像光学系统研制被引量：1
- 2022年
- 为了弥补分焦平面偏振成像技术在测量过程存在瞬时视场误差且图像分辨率降低的缺陷,将微扫描技术与分焦平面偏振成像系统相结合,研制了一款基于透镜微扫描的红外偏振成像光学系统,系统波长为3~5μm、F数为2、光学视场角为±2°。采用折反式光学结构,将后透镜组中最后一片透镜作为微扫描透镜,实现了2×2模式的正交位移。完成了公差分析和结构设计,分析了微扫描透镜的同轴度、位置度、扫描位移等对成像质量的影响规律,获得了各视场调制传递函数均高于0.47@17 lp/mm的设计结果。利用研制的系统进行了偏振成像实验,结果表明,红外偏振成像提高了图像的对比度,目标轮廓更清晰,且对不同材质目标的识别能力更强。
- 田晨陈鹏张晓杰龙华保侯名洋沈正祥
- 关键词：红外偏振光学系统
- 一种光学元件精密抛光后的清洗方法
- 本发明涉及一种光学元件精密抛光后的清洗方法，特别适用于古典法抛光拼盘加工K9玻璃和熔融石英元件的清洗。具体步骤为：将下盘后的光学元件在汽油中浸泡 30分钟以上，在四氯化碳中浸泡 2小时后在40kHz、120kHz的超声频...
- 沈正祥王占山丁涛王晓强马彬
- 文献传递
- 一种激光薄膜的清洗方法
- 本发明涉及一种激光薄膜表面的清洗方法，具体步骤为：用蘸有丙酮的棉签轻拭激光薄膜表面，将擦拭后的激光薄膜置于第一清洗槽中，第一清洗槽中加入碱性溶液对该样品进行清洗，溶液温度为室温；所述碱性溶液体积比为NH<Sub>4</S...
- 丁涛孙晓雁马彬程鑫彬焦宏飞沈正祥张锦龙王占山
- 文献传递
