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杨柳滨

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会科研基金上海市教育委员会重点学科基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇工艺参
  • 2篇工艺参数
  • 2篇光度
  • 2篇光度法
  • 2篇分光光度法
  • 1篇导体
  • 1篇膜厚
  • 1篇分析测试技术
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体薄膜
  • 1篇薄膜厚度
  • 1篇氦
  • 1篇铝
  • 1篇镓
  • 1篇LED芯片

机构

  • 2篇复旦大学
  • 1篇上海蓝光科技...

作者

  • 2篇杨柳滨
  • 1篇李越生
  • 1篇江素华

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 2篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
LED芯片工艺参数分析测试技术的研究
发光二极管作为下一代光源有着广泛的应用前景,由于其能量转化效率高,使用寿命长以及无污染等优点对于未来社会的可持续发展有着重要的意义。现在LED的制造工艺瓶颈主要集中在对薄膜生长厚度和化合物半导体薄膜组分的精确控制上。因此...
杨柳滨
关键词：LED芯片分光光度法薄膜厚度
文献传递
化合物半导体薄膜工艺参数的分光光度法测试
2009年
化合物半导体的组分与膜厚等是光电子器件工艺监控中的关键工艺参数,因为这些参数直接影响着器件的光学和电学等性能。介绍了通过分光光度法和Forouhi-Bloomer离散方程相结合的方法测定化合物半导体薄膜折射率n与膜厚d,通过材料组分与折射率之间关系的分析进而得到化合物组分x,该结果用SIMS和XRD方法得到验证。由于分光光度法能够快速无损地测量反射率,并且由该反射率能够更准确地测到其组分信息,因此在实际的生产在线监控和工艺改进中有良好的应用前景。
杨柳滨江素华郝茂盛李越生
关键词：分光光度法
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