李隆玉
- 作品数：9 被引量：16H指数：3
- 供职机构：郑州大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电气工程电子电信更多>>
- 基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜的电容湿敏性能研究被引量：4
- 2007年
- 采用溶胶-凝胶和旋涂技术制备了基于Si-NPA的BaTiO_3薄膜(BaTiO_3/Si-NPA).场发射扫描电镜和X射线衍射实验表明,钙钛矿结构BaTiO_3薄膜很好地覆盖了Si-NPA表面.通过蒸镀双面梳状电极,制作了电容型BaTiO_3/Si-NPA湿敏元件并对其湿敏性能进行了测试.结果表明,室温下湿敏元件在11%～95%RH范围内具有很高的灵敏度和较快的响应速度,且电容值的对数对湿度呈现出很好的线性.虽然该薄膜湿敏元件在不同湿度下均存在温度漂移,但分析表明这种漂移有可能通过电极设计或信号补偿加以解决.
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- 关键词：湿度传感器BATIO3
- γ-Fe2O3/硅纳米孔柱阵列湿敏元件的湿敏性能研究被引量：2
- 2008年
- 利用匀胶旋涂技术,将微乳-水热法制备出的、粒径均匀可控的γ-Fe2O3纳米颗粒沉积在具有独特微纳双重结构的硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)基片上,制成γ-Fe2O3/Si-NPA湿度传感元件,并对其进行湿度感应测试结果发现,当环境相对湿度(RH)从11%升高到95%时,该元件的电容和电阻分别呈高灵敏度的单值增加和单值降低。在100 Hz的电流频率下,元件的高湿电容值升为低湿电容值的12 500%,低湿电阻值是高湿电阻值的51 515%。分析表明,微乳-水热法对γ-Fe2O3纳米颗粒尺寸的控制以及Si-NPA衬底的独特结构是提高元件灵敏度的主要原因。
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- 关键词：Γ-FE2O3硅纳米孔柱阵列湿度传感器
- 钛酸锶钡纳米粉体的溶胶-凝胶自蔓延燃烧制备及其介电性能研究被引量：3
- 2007年
- 采用溶胶-凝胶和自蔓延燃烧技术,制备了平均晶粒尺寸约20nm的Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)纳米粉体。将纳米粉体压制成形后进行烧结,得到BST陶瓷。采用XRD、SEM、TEM和LCR数字电桥研究了BST的结构、形貌和介电性质。结果表明,干凝胶自蔓延燃烧后,可直接形成分散性好、颗粒尺寸均匀、具有钙钛矿结构的BST纳米粉体。BST陶瓷压片经1250℃烧结2h后获得了致密的结构和相对较大的介电常数。粉体的结晶温度和烧结体的烧结温度均低于传统工艺。很明显,溶胶-凝胶自蔓延燃烧法在纳米材料的制备方面具有明显的技术优势。
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- 关键词：钛酸锶钡溶胶-凝胶自蔓延燃烧介电性质
- 基于Si-NPA的WO_3薄膜电容湿敏性能被引量：1
- 2008年
- 采用匀胶旋涂技术将WO3溶胶沉积在硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底上,经500℃退火制得WO3/Si-NPA复合薄膜。场发射扫描电镜和X射线衍射的表面形貌和结构分析表明,WO3在Si-NPA表面形成连续薄膜,且复合薄膜保持了Si-NPA规则阵列结构的特点。湿敏测试结果显示:在11%到95%的相对湿度范围内,WO3/Si-NPA湿敏元件输出电容强,且随测试频率的增加而单调降低;随着WO3薄膜厚度的增加,湿敏元件灵敏度明显增大,但元件相应的响应/恢复时间却延长。
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- 关键词：WO3
- 退火对电容型硅纳米孔柱阵列湿度传感器性能的影响被引量：1
- 2008年
- 基于硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)制备电容型湿度传感元件,并在250℃、450℃和550℃三个温度下对元件进行退火处理。测试数据显示,在测试温度低于550℃时,Si-NPA湿敏元件灵敏度随退火温度的升高而增大,但响应时间略微延长,湿滞回差略微增大;550℃退火后,元件的灵敏度急剧降低。采用场发射扫描电镜(FE-SEM)对不同温度退火的硅纳米孔柱阵列表面形貌进行观察,发现550℃退火元件的微观多孔结构发生了明显变化,即多孔结构致密化。结果表明,通过合适温度退火可以显著提高Si-NPA湿敏元件灵敏度,同时仍然保持较快的响应速度和较小的湿滞回差。
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- 关键词：湿敏退火温度
- BST/Si-NPA复合薄膜的湿敏电容特性研究被引量：1
- 2007年
- 本文采用溶胶-凝胶法和旋涂工艺,以Si-NPA为衬底,制备了钛酸锶钡(BST)/Si-NPA复合薄膜,并对其形貌、结构及湿敏电容特性进行了研究。结果表明,环境的相对湿度(RH)、测试信号频率和退火温度均对湿敏电容特性具有较大影响。在100Hz的测试信号频率下,当环境的相对湿度从11%上升到95%时,BST/Si-NPA湿敏元件的电容增量可达起始值的4400%,显示出较高的湿度敏感性。同时,元件的响应时间和恢复时间均约为42s,表现出较快的时间响应和均衡的吸附/脱附。最后,通过复阻抗法讨论了元件的感湿机理。
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- 关键词：钛酸锶钡硅纳米孔柱阵列
- Electron field emission from a nest array of multi-walled carbon nanotubes/silicon nanoporous pillar array
- A large scale nest array of multi-walled carbon nanotubes (NACNT) was grown on a silicon nanoporous pillar arr...
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- 铜铁氧体纳米晶的溶胶-凝胶自蔓延燃烧法合成和表征被引量：5
- 2007年
- 以硝酸铜、硝酸铁、硝酸钴和柠檬酸为原料,采用溶胶-凝胶自蔓延燃烧法一步直接合成了单相Co0.5Cu0.5Fe2O4纳米晶。借助TG/DTAI、R、XRD和SEM等手段分别对溶胶-凝胶自蔓延燃烧机理、粉体在不同退火温度下的结构演化过程以及燃烧粉体的表面形貌进行了研究。结果表明,自蔓延燃烧过程是在硝酸根离子和羧酸根离子之间进行的热诱导阴离子氧化还原反应,其中,硝酸根离子作氧化剂,羧酸根离子作还原剂。干凝胶燃烧后,产物已经初步晶化,晶粒尺寸约20nm。经600℃,2h退火即可得到晶化较好的Co0.5Cu0.5Fe2O4纳米粉体,燃烧粉末为多孔结构,密度为2.9g/cm3。
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- 关键词：溶胶-凝胶自蔓延燃烧
- Affect of annealing temperature on capacitive humidity sensing properties of silicon nanoporous pillar array
- Capacitive humidity devices based on silicon nanoporous pillar array (Si-NPA) were fabricated and annealed at ...
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