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李洪波

作品数：10 被引量：25H指数：1
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所更多>>
发文基金：宁波市自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇理学

主题

  • 3篇等离子
  • 3篇弯管
  • 3篇合金
  • 3篇大颗粒
  • 2篇等离子体
  • 2篇点阵
  • 2篇电池
  • 2篇阳极
  • 2篇氧化钛
  • 2篇原位生长
  • 2篇障碍层
  • 2篇致密
  • 2篇太阳能
  • 2篇太阳能电池
  • 2篇离子轰击
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米管
  • 2篇金元素
  • 2篇宽光谱
  • 2篇加速电压

机构

  • 10篇中国科学院宁...

作者

  • 10篇李洪波
  • 6篇李金龙
  • 5篇薛群基
  • 4篇汪爱英
  • 3篇黄峰
  • 3篇柯培玲
  • 1篇代伟
  • 1篇周毅
  • 1篇吴国松

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 5篇2012
  • 3篇2010
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
阴极真空电弧源薄膜沉积装置及沉积薄膜的方法
本发明公开了一种阴极真空电弧源薄膜沉积装置，包括具有高速传输等离子与有效过滤宏观大颗粒的磁性过滤部分，该磁性过滤部分包括管体与设置在管体外部周缘的磁场产生器，管体入口端面与管体出口端面之间至少有一个弯管，并且该弯管两侧管...
汪爱英李洪波柯培玲
文献传递
椭偏与光度法联用精确测定吸收薄膜的光学常数与厚度被引量：25
2010年
介绍了一种同时利用椭偏仪和分光光度计精确测量薄膜光学常数的方法,并详细比较了该方法与使用单一椭偏仪拟合结果的可靠性.采用可变入射角光谱型椭偏仪(VASE)表征了250—1700nm波段辉光放电法沉积的类金刚石薄膜,研究发现当仅用椭偏参数拟合时,由于厚度与折射率、消光系数的强烈相关性,无法得到吸收薄膜光学常数的准确解.如果加入分光光度计测得的透射率同时拟合,得到的结果具有很好的惟一性.该方法无需设定色散模型即可快速拟合出理想的结果,特别适合于确定透明衬底上较薄吸收膜的光学常数.
周毅吴国松代伟李洪波汪爱英
关键词：光学常数透射率
阴极真空电弧源薄膜沉积装置及沉积薄膜的方法
本发明公开了一种阴极真空电弧源薄膜沉积装置，包括具有高速传输等离子与有效过滤宏观大颗粒的磁性过滤部分，该磁性过滤部分包括管体与设置在管体外部周缘的磁场产生器，管体包括管体入口端面和管体出口端面，管体入口端面与管体出口端面...
汪爱英李洪波柯培玲
阴极真空电弧源薄膜沉积装置
本实用新型公开了一种阴极真空电弧源薄膜沉积装置，包括具有高速传输等离子与有效过滤宏观大颗粒的磁性过滤部分，该磁性过滤部分包括管体与设置在管体外部周缘的磁场产生器，管体包括管体入口端面和管体出口端面，管体入口端面与管体出口...
汪爱英李洪波柯培玲
文献传递
一种宽光谱响应的太阳能电池柔性光阳极及其制备方法
本发明涉及一种宽光谱响应的太阳能电池柔性光阳极及其制备方法。具体地，本发明公开了一种柔性、宽光谱响应的太阳能电池光阳极及其制备方法。所述方法采用高塑韧性的钛箔作为光阳极的基体，在钛箔表面采用电化学方法原位生长二氧化钛纳米...
李金龙李洪波黄峰薛群基
文献传递
一种提高磁体矫顽力的装置和方法
本发明公开了一种提高磁体矫顽力的装置和方法。具体地，本发明公开了一种提高磁体矫顽力方法，所述方法为在真空室中，对磁体的至少一个主表面进行离子轰击，从而提高磁体的矫顽力。本发明采用不同种类和不同加速电压的离子轰击磁体，不需...
李金龙李洪波薛群基
一种宽光谱响应的太阳能电池柔性光阳极及其制备方法
本发明涉及一种宽光谱响应的太阳能电池柔性光阳极及其制备方法。具体地，本发明公开了一种柔性、宽光谱响应的太阳能电池光阳极及其制备方法。所述方法采用高塑韧性的钛箔作为光阳极的基体，在钛箔表面采用电化学方法原位生长二氧化钛纳米...
李金龙李洪波黄峰薛群基
文献传递
Cu-Mn-Ti 合金在SiCxOy 基底上生成的自形成障碍层制备与分析
模集成电路互连结构的进一步发展需要超薄、均一的扩散障碍层以防止铜互连线和绝缘层间发生互扩散,而传统的Ta/TaN/TiN 障碍层制备技术在厚度和均匀性方面已难满足需求.因此本文对可替代传统Ta/TaN/TiN 障碍层的自...
李洪波李金龙
关键词：BARRIERALLOYINTERCONNECT
一种提高磁体矫顽力的装置和方法
本发明公开了一种提高磁体矫顽力的装置和方法。具体地，本发明公开了一种提高磁体矫顽力方法，所述方法为在真空室中，对磁体的至少一个主表面进行离子轰击，从而提高磁体的矫顽力。本发明采用不同种类和不同加速电压的离子轰击磁体，不需...
李金龙李洪波薛群基
文献传递
一种集成电路中Cu互连线扩散障碍层的构筑方法
本发明公开了一种集成电路Cu互连线扩散障碍层的构筑方法，具体地，本发明所述方法包括步骤：在集成电路低k材料沟道侧壁和底部沉积第一扩散障碍层；然后在第一扩散障碍层表面沉积Cu合金种子层，并进行退火处理，在Cu合金层与第一扩...
黄峰李金龙李洪波薛群基
文献传递
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