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李有希

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：福州大学机械工程及自动化学院更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇晶态
  • 1篇溅射
  • 1篇非晶
  • 1篇非晶态
  • 1篇磁性

机构

  • 1篇福州大学

作者

  • 1篇柳丽娜
  • 1篇李友遐
  • 1篇李有希
  • 1篇高诚辉

传媒

  • 1篇材料保护

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
溅射非晶态薄膜磁性的控制
2004年
　微电子技术的迅速发展要求电子元件薄膜化,从而促进了磁性薄膜的发展。为了达到控制溅射非晶态薄膜磁性的目的,从溅射非晶态薄膜的组成成分、溅射工艺参数、基体材料及温度、膜层厚度和镀后热处理工艺等几方面论述了影响非晶态溅射薄膜磁性的因素,结果表明,薄膜组成、膜厚、基材、溅射工艺及镀后热处理对溅射非晶态薄膜的磁性有较大的影响,应根据不同磁性要求加以控制。
柳丽娜高诚辉李有希李友遐
关键词：溅射磁性
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共1页<1>
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