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李天舒

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:教育部更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇多层膜
  • 1篇微观结构

机构

  • 1篇教育部

作者

  • 1篇李天舒
  • 1篇李晖
  • 1篇潘峰

传媒

  • 1篇第七届全国固...

年份

  • 1篇2000
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
TiiTiN多层膜的微观结构与硬度增强效应
采用直流反应磁控溅射方法制备了Ti/TiN多层膜。结构和硬度测试结果表明多层膜硬度依赖于薄膜的调制周期和Ti与TIi层的厚度比。当两者厚度比为1:1,调制周期在30-65mm时,多层膜出现硬度增强现象,可观测到的最大硬度...
潘峰李天舒李晖
关键词:微观结构
文献传递
共1页<1>
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