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李天舒
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潘峰
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2000
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TiiTiN多层膜的微观结构与硬度增强效应
采用直流反应磁控溅射方法制备了Ti/TiN多层膜。结构和硬度测试结果表明多层膜硬度依赖于薄膜的调制周期和Ti与TIi层的厚度比。当两者厚度比为1:1,调制周期在30-65mm时,多层膜出现硬度增强现象,可观测到的最大硬度...
潘峰
李天舒
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