朱正涛
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 供职机构：华南理工大学机械与汽车工程学院更多>>
- 相关领域：化学工程金属学及工艺更多>>
- 铝合金化学镀镍复合层工艺及性能研究被引量：2
- 2006年
- 先将铝合金样品阳极氧化30 min,然后电镀铜5 min,最后化学镀镍30 min,可以在铝合金表面获得颜色稳定、结合性能良好的复合层,且复合层致密,厚度可达20μm以上,复合层的硬度HV0.025/20达到450以上.阳极氧化和电镀铜所用溶液相同,给生产带来了方便.
- 朱正涛谢红希
- 关键词：铝合金阳极氧化电镀铜化学镀镍复合层
- RF—PECVD法制备类金刚石薄膜及其结构性能的研究
- 采用射频等离子增强化学气相沉积法,调节工艺参数在载玻片和单晶硅片上沉积类金刚石薄膜。采用RM2000型显微激光拉曼光谱仪对沉积薄膜进行拉曼光谱分析;用3D表面形貌仪(BMT expert)测量薄膜厚度;用HX-1000T...
- 朱正涛
- 关键词：类金刚石薄膜生长速率化学气相沉积法拉曼光谱分析显微硬度计
- 文献传递
- RF-PECVD工艺参数对DLC膜结构及性能的影响被引量：7
- 2009年
- 用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)法,在常温下实现在载玻片和单晶硅基片上沉积类金刚石(DLC)薄膜。研究结果表明,工艺参数(功率密度、氩气分压、丁烷分压和极间距)的变化对薄膜硬度和透过率影响较大。薄膜硬度随着功率密度的增加而增加;随着氩气分压或丁烷分压的增加,薄膜硬度降低。薄膜的透过率随着氩气分压先增后减;丁烷分压为0.42～0.7Pa或板极间距为4.5～8cm时,薄膜的透过率均达到90%。
- 谢红希凌贵朱正涛
- 关键词：类金刚石薄膜
