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曲子濂

作品数：15 被引量：4H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 9篇晶圆
  • 8篇化学机械抛光
  • 8篇机械抛光
  • 6篇抛光
  • 6篇膜厚
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇涡流传感器
  • 3篇电涡流
  • 3篇标定方法
  • 2篇导轨
  • 2篇多频
  • 2篇多频信号
  • 2篇信号
  • 2篇旋转接头
  • 2篇以太
  • 2篇以太网
  • 2篇圆台
  • 2篇抬起

机构

  • 15篇清华大学

作者

  • 15篇曲子濂
  • 14篇路新春
  • 12篇赵乾
  • 11篇孟永钢
  • 6篇何永勇
  • 6篇赵德文
  • 4篇李弘恺
  • 4篇王同庆
  • 3篇余强
  • 3篇田芳馨
  • 2篇乐承宁
  • 2篇门延武
  • 2篇雒建斌
  • 1篇李宏恺
  • 1篇余强

传媒

  • 1篇机械工程学报
  • 1篇中国基础科学

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 4篇2013
  • 4篇2012
  • 2篇2011
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于在线膜厚测量系统的标定方法及标定装置
本发明公开了一种用于在线膜厚测量系统的标定方法，包括如下步骤：检测多片晶圆上的抛光压力，当所述抛光压力达到预设压力值时，分别对所述多片晶圆进行预设程度的抛光；在抛光结束后，分别采集所述每片晶圆的片上电压和片下电压并计算所...
路新春曲子濂赵乾王同庆孟永钢
化学机械抛光方法
本发明公开了一种化学机械抛光方法，所述化学机械抛光方法包括：A)利用终点测量装置测量晶圆上的多个点的膜厚前值；B)根据多个点的膜厚前值对晶圆进行化学机械抛光；和C)利用终点测量装置测量多个点的膜厚后值，并根据多个点的膜厚...
路新春王同庆曲子濂何永勇
化学机械抛光方法
本发明公开了一种化学机械抛光方法，所述化学机械抛光方法包括：A)利用终点测量装置测量晶圆上的多个点的膜厚前值；B)根据多个点的膜厚前值对晶圆进行化学机械抛光；和C)利用终点测量装置测量多个点的膜厚后值，并根据多个点的膜厚...
路新春王同庆曲子濂何永勇
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晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统
本发明公开一种晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统，采用上层控制系统和底层控制系统的两级控制模式，两层控制系统之间通过工业以太网实现物理连接。其中，底层控制系统利用可编程逻辑控制器PLC，负责直接控制化学机械抛光单元的在线测...
路新春李弘恺曲子濂田芳馨门延武赵乾孟永钢
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电涡流金属膜厚度终点检测装置
电涡流金属膜厚度终点检测装置，属于集成电路化学机械抛光工艺设备技术领域。该装置包括电涡流传感器、导电滑环、导电定环、多频信号发生单元、前置电路以及含有数据处理与控制程序的计算控制单元。电涡流传感器安装在抛光机的抛光台内且...
孟永钢曲子濂乐承宁赵德文赵乾路新春
全局金属膜厚度测量装置
本发明为一种全局金属膜厚度测量装置，包括底座，底座上固定有转台和直线单元，转台包括定子部分和转子部分，定子部分固定在底座上，转子部分上固定工作台，工作台内有真空管路，转子部分的旋转接头与所述真空管路相连，直线单元包括导轨...
赵德文曲子濂路新春赵乾何永勇孟永钢雒建斌
文献传递
利用晶圆台测量晶圆的膜厚度的方法
本发明公开了一种利用晶圆台测量晶圆的膜厚度的方法。所述方法包括：A)所述晶圆台的升降装置向上移动至高位，利用机械手将晶圆传输到所述升降装置上，然后所述机械手移出；B)利用真空产生器对所述晶圆台的通气孔和凹槽抽真空，然后所...
路新春赵德文李宏恺赵乾余强曲子濂何永勇
晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统
本发明公开一种晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统，采用上层控制系统和底层控制系统的两级控制模式，两层控制系统之间通过工业以太网实现物理连接。其中，底层控制系统利用可编程逻辑控制器PLC，负责直接控制化学机械抛光单元的在线测...
路新春李弘恺曲子濂田芳馨门延武赵乾孟永钢
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用于测量晶圆表面铜膜厚度的标定方法和测量方法及装置
本发明提出一种用于测量晶圆表面铜膜厚度的标定方法和测量方法及装置，其中标定方法包括以下步骤：选定晶圆铜膜上的标定点分布，并根据标定点分布确定每片晶圆铜膜上的K个标定点坐标；在m片晶圆铜膜上，依次采集传感器探头在K个标定点...
路新春李弘恺赵乾余强田芳馨曲子濂孟永钢
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用于在线膜厚测量系统的标定方法及标定装置
本发明公开了一种用于在线膜厚测量系统的标定方法，包括如下步骤：检测多片晶圆上的抛光压力，当所述抛光压力达到预设压力值时，分别对所述多片晶圆进行预设程度的抛光；在抛光结束后，分别采集所述每片晶圆的片上电压和片下电压并计算所...
路新春曲子濂赵乾王同庆孟永钢
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