彭石军
- 作品数：29 被引量：39H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信文化科学更多>>
- 一种旋转轴对称曲面面形误差的测量装置及测量方法
- 一种旋转轴对称曲面面形误差的测量装置及测量方法，测量装置包括基座；转台，设置在基座上，用于带动被测物体绕转轴旋转；激光测量系统，用于在所述被测物体旋转的过程中，对所述被测物体的被测面进行扫描采样，得到若干个采样点数据；以...
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- 文献传递
- 一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法及其测量装置
- 本发明公开了一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法及其测量装置，测量方法使用干涉仪沿待测非球面表面一经线方向进行逐点扫描采样，获得一组关于待测非球面空间坐标的数组L(x,z,t)，利用最小二乘拟合法计算获得所述待测非球...
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- 干涉仪系统、干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法
- 一种干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法，包括：将用于配合检测的面状光学元件放置于干涉仪系统的待测台上；调整所述面状光学元件在所述待测台上的放置状态，而使得所述面状光学元件分别处于多个放置状态；通过干涉仪系统的成像部相应地...
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- 一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法及其测量装置
- 本发明公开了一种旋转对称未知非球面面形误差的测量方法及其测量装置，测量方法使用干涉仪沿待测非球面表面一经线方向进行逐点扫描采样，获得一组关于待测非球面空间坐标的数组L(x,z,t)，利用最小二乘拟合法计算获得所述待测非球...
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- 一种气浮高精度检测工装
- 本发明一种气浮高精度检测工装，属于光学检测领域，解决现有技术中的传统检测工装支撑方式引入的应力和摩擦力所引入的变形，精度不高的技术问题；本发明包括一个平面基座，基座表面上分布有若干喷气孔，周围三个限位块，保证检测工件位固...
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- 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工被引量：2
- 2016年
- 考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动范围、压力等加工工艺参数,并使用硅溶胶溶液抛光进一步降低CaF_2元件的高频误差,逐渐去除加工中产生的划痕并且获得极小中频误差(Zernike残差)和高频粗糙度。最后,在不改变CaF_2元件高频误差的同时利用离子束加工精修元件面形。对100mm口径氟化钙材料平面进行了加工和测试。结果表明:其Zernike 37项拟合面形误差RMS值可达0.39nm,Zernike残差RMS值为0.43nm,高频粗糙度均值为0.31nm,实现了对CaF_2元件的亚纳米精度加工,为研发高性能深紫外投影光刻物镜奠定了良好基础。
- 张春雷徐乐刘健马占龙王飞谷永强代雷彭石军
- 关键词：氟化钙投影光刻物镜
- 长曲率半径测量系统精度设计及分析
- 2017年
- 根据高精密光学系统的需求,结合目前的研究成果,基于干涉测量法研制了长曲率半径测量系统。分析了影响长曲率半径测量系统测量精度的多种误差因素,根据误差理论和系统组成建立了长曲率半径测量系统误差分配的数学模型和误差分配树。结合系统的整体使用需求,对系统测量精度的目标不确定度进行了分配和合成。结果表明,根据分配结果得到的标准不确定度为2.49μm,小于系统要求的目标不确定度2.5μm。以此分配结果作为各子系统结构设计的输入指标,总结并提出了提高曲率半径测量精度的措施,根据误差分配结果设计了符合使用需求的长曲率半径测量系统。
- 魏凤龙田伟彭石军
- 一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜
- 一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜，涉及光学镜头设计领域，包括：光阑、镜头组分和参考面；干涉仪发出两束不同波长的入射光，通过光阑后，使入射光的口径与镜头组分的口径匹配；镜头组分将入射光会聚在参考面的球心位置。不同于现有商...
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- 高精度曲率半径测量研究被引量：13
- 2014年
- 由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析了影响曲率半径检测精度的主要因素,并给出了在曲率半径测量过程中减小测量误差的方法以及相应的补偿方式。基于此分析,在高精度实验室中采用菲佐干涉仪结合高精度测长干涉仪的干涉测量方式,分别对典型的凸球面和凹球面光学元件进行了曲率半径检测。实验结果表明:通过环境补偿和提高对准精度的方法,曲率半径检测的复现性优于0.2μm,实际测得的相对误差分别为0.67×10^(-6)(2σ)和0.60×10^(-6)(2σ),实现了高精度曲率半径测量。
- 彭石军苗二龙史振广陈华隋永新杨怀江
- 关键词：曲率半径环境补偿
- 一种三点支撑下自动旋转角度检测工装
- 一种三点支撑下自动旋转角度检测工装属于光学检测技术领域，目的在于解决现有技术存在的因重力变形引入的面形误差的问题。本发明包括底座、旋转装置和限位装置；底座上端圆周均布三个支撑小球，三个支撑小球与待测工件下表面接触，底座上...
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