您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇纳米
  • 1篇纳米级

机构

  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇赖奕坚
  • 1篇张训彪
  • 1篇庄明珠
  • 1篇郭新秋
  • 1篇王瑞斌
  • 1篇王铮
  • 1篇李刚

传媒

  • 1篇分析测试学报

年份

  • 1篇2006
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
用扫描电镜测量纳米级标准长度的倾斜误差计算
2006年
  用扫描电镜测量纳米级长度的时候[1, 2],被测长度的倾斜会导致被测长度产生误差,通常称其为倾斜误差.本文对于倾斜误差进行了实验和分析.给出了倾斜误差与倾斜角度的关系公式和对应数据表,同时提出了减小或消除倾斜误差的方法,为提高测量准确度,建立标准测量方法[3],创造了条件.……
王瑞斌赖奕坚庄明珠郭新秋王铮李刚张训彪
共1页<1>
聚类工具0