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张易军

作品数：53 被引量：4H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金教育部“新世纪优秀人才支持计划”长江学者和创新团队发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 52篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 11篇一般工业技术
  • 3篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇理学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程

主题

  • 17篇原子层沉积
  • 13篇纳米
  • 10篇保形
  • 8篇二茂
  • 8篇二茂铁
  • 8篇复合材料
  • 8篇复合材
  • 7篇刻蚀
  • 6篇仪器
  • 6篇铁电
  • 6篇校准
  • 6篇纳米管
  • 6篇晶圆
  • 6篇磁电
  • 6篇磁电耦合
  • 5篇氧化物
  • 5篇线宽
  • 4篇仪器校准
  • 4篇异质结
  • 4篇原位制备

机构

  • 53篇西安交通大学
  • 1篇西安电子科技...

作者

  • 53篇张易军
  • 42篇任巍
  • 27篇刘明
  • 15篇王琛英
  • 15篇蒋庄德
  • 12篇张洁
  • 10篇张乐
  • 10篇景蔚萱
  • 10篇毛琦
  • 8篇林启敬
  • 4篇李磊
  • 4篇史鹏
  • 4篇韩枫
  • 3篇杨亚威
  • 2篇杨树明
  • 2篇陈小明
  • 2篇赵刚
  • 2篇赵金燕
  • 2篇王哲
  • 2篇孙超

传媒

  • 1篇稀有金属材料...

年份

  • 5篇2023
  • 6篇2022
  • 9篇2021
  • 7篇2020
  • 8篇2019
  • 3篇2018
  • 7篇2017
  • 4篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2013
共 53 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于电子自旋共振探测铁电体中铁电‑弛豫相变的方法
本发明公开了一种基于电子自旋共振探测铁电体中铁电‑弛豫相变的方法，探测对象为含有磁性元素的铁电材料，涉及探测方法包括：1)在固定温度下对材料进行电子自旋共振测试，得到其电子自旋共振峰；2)变化温度范围使预计相变温度包含在...
庄建张易军张楠张洁叶作光任巍刘明
一种跨量级多尺度线宽标准器及其制备方法
本发明提供的一种跨量级多尺度线宽标准器的制备方法，包括以下步骤：步骤1，利用原子层沉积法在洁净的衬底上沉积两种或者两种以上材料形成的纳米叠层薄膜；步骤2，将步骤1中得到的纳米叠层薄膜依次进行膜面对粘、加热固化，之后得到固...
张易军王琛英任巍蒋庄德景蔚萱刘明叶作光毛琦
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远程等离子体增强原子层沉积低温生长石墨烯的方法
本发明公开了一种远程等离子体增强原子层沉积低温生长石墨烯的方法，其以液态苯作为C源，使用PEALD设备进行ALD模式的石墨烯生长，以远程等离子体作为PEALD的另外一种源获得低温生长；以铜箔为基底，反应前采用3kW的大功...
任巍张易军史鹏吴小清
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一种采用原子层沉积法原位制备氧化物/金属铁磁性异质结的方法
本发明提供了一种采用原子层沉积法原位制备氧化物/金属铁磁性异质结的方法，该方法采用原子层沉积法，以二茂铁作为铁源，氧气作为氧源，在金属衬底上沉积四氧化三铁，通过原子层沉积系统将二茂铁与氧气交替通入原子层沉积系统的反应腔内...
刘明张乐任巍张易军
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一种特征尺寸可调控周期性纳米线宽样板及其制备方法
本发明提供的一种特征尺寸可调控周期性纳米线宽样板的制备方法，利用在薄膜厚度控制和三维均匀性方面最好的ALD技术制备具有精确厚度的周期性纳米叠层薄膜，然后通过切割，对粘和研磨抛光等微纳加工技术，将纳米薄膜的厚度转化为纳米线...
张易军王琛英任巍蒋庄德刘明叶作光毛琦
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一种用ALD构建同心核壳三维纳米多铁异质结阵列的方法
本发明公开了一种用ALD构建同心核壳三维纳米多铁异质结阵列的方法，首先在导电玻璃上生长ZnO纳米线阵列，然后利用ZnO纳米线阵列作为模板，采用原子层沉积法ALD依次沉积铁电薄膜和磁性薄膜，在刻蚀掉ZnO纳米线阵列顶部的铁...
张易军刘明任巍叶作光王琛英蒋庄德
一种制备具有磁电耦合性能的无机有机柔性复合材料的方法
本发明提供的一种制备具有磁电耦合性能的无机有机柔性复合材料的方法，包括以下步骤：步骤一，按1:10的质量比将PVDF‑TrFE粉末分散于二甲基甲酰胺中，得到PVDF溶液；步骤二，将步骤一中制备所得的PVDF溶液过滤，得到...
张易军唐卓华张洁刘明任巍叶作光
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一种采用原位磁场来调控原子层沉积薄膜磁性的方法
本发明公开了一种采用原位磁场来调控原子层沉积薄膜磁性的方法，目的在于，制备的Fe<Sub>3</Sub>O<Sub>4</Sub>薄膜的磁各向异性明显，具有更高的矫埦场，且Fe<Sub>3</Sub>O<Sub>4</S...
刘明张易军张乐任巍叶作光
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一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法
本发明公开了一种在线校准晶圆微纳米台阶高度标准样板及其循迹方法，用于实现在线校准，样板包括中心工作区域及第一、第二循迹区域；通过所述微纳米台阶高度标准样板的第一循迹区域和第二循迹区域内的等腰三角形循迹标识的指向配合设计单...
王琛英张雅馨蒋庄德景蔚萱林启敬刘明张易军韩枫毛琦王松杨亚威
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电化学葡萄糖传感器的核壳结构型工作电极及制备方法
本发明属于葡萄糖传感器领域，公开了一种电化学葡萄糖传感器的核壳结构型工作电极及制备方法，包括：在基底上依次溅射金膜和ZnO薄膜，得到预处理基底；将预处理基底置于ZnO生长溶液中，采用水浴法在ZnO薄膜上生长ZnO纳米花，...
毛琦景蔚萱张易军韩枫高伟卓杨振伟甄凤昆
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