吴碧艳
- 作品数：4 被引量：133H指数：2
- 供职机构：浙江工商大学计算机与信息工程学院更多>>
- 相关领域：电子电信文化科学更多>>
- 电极形状对FBAR横模特性的影响
- 本文从四类压电方程入手推导了六角晶系压电薄膜的FBAR横模的阻抗特性,分析了产生横模的原因,并基于此用ANYSYS进行了有限元仿真,分析了方形、三角形、圆形和五边形等电极形状对FBAR横模的影响,仿真结果与实际测量值接近...
- 吴碧艳
- 关键词：压电薄膜谐振器
- 文献传递
- 高校本科生教育中研究型教学模式探讨被引量：130
- 2009年
- 从研究型教学模式的内涵和意义入手,深入分析实施研究型教学培养的四大模式和三大组织形式,继而分析有效开展本科教育中研究型教学模式需要思考的问题,并在此基础上提出若干策略与建议。
- 叶国荣陈达强吴碧艳
- 关键词：本科教育研究型教学模式教学组织形式
- 电极形状对FBAR横模特性的影响被引量：2
- 2006年
- 从四类压电方程入手推导了六角晶系压电薄膜的FBAR横模的阻抗特性,分析了产生横模的原因,并基于此用ANYSYS进行了有限元仿真,分析了方形、三角形、圆形和五边形等电极形状对FBAR横模的影响,仿真结果与实际测量值接近,说明了分析方法的准确性.
- 吴碧艳
- 关键词：FBAR
- 纳米集成电路中镍基CMP工艺(英文)被引量：1
- 2009年
- 机械化学抛光(CMP)工艺普遍应用于纳/微机械制造中,特别是复杂的层状结构MEMS。鉴于镍及镍基合金具有高的沉积速率、可控的薄层应力、低的电阻和制备温度以及机械特性,本文研究了镍及镍基合金用于具有运动结构的纳/微EMS器件的可行性,重点研究了基于镍的CMP工艺,其电化学势的变化用电动势极化曲线进行了分析,镍膜层表面用XPS和SEM进行了分析,结果表明:镍的刻蚀速率随着双氧水和缓蚀剂EDTA浓度中加而增加,在双氧水浓度在1%左右时达到最大。其刻蚀过程的动态和静态的电动势极化曲线具有明显不同,XPS分析表明:无双氧水的刻蚀液薄膜表面主要是形成N iO,存在H2O2的刻蚀液薄膜表面主要是形成N i(OH)2,表面的镍所处的电化学状态是影响刻蚀行为的主要原因。
- 吴碧艳罗文媗
- 关键词：镍电动势
