您的位置： 专家智库 > >

卜俊峰

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇修整
  • 1篇抛光
  • 1篇抛光垫
  • 1篇抛光晶片
  • 1篇平整度
  • 1篇气囊
  • 1篇气囊充气
  • 1篇晶片
  • 1篇充气

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇赵冀
  • 1篇卜俊峰
  • 1篇惠峰
  • 1篇朱蓉辉
  • 1篇郑红军

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
可以修整抛光晶片平整度的抛光头
一种可以修整抛光晶片平整度的抛光头，其特征在于，包括：一晶片固定盘；一上抛光盘，该上抛光盘的断面为倒T形；一气囊，该气囊固定在上抛光盘的底面，该气囊可以充气；一抛光垫，该抛光垫固定在气囊的底面；欲将晶片抛光时，将气囊充气...
朱蓉辉惠峰卜俊峰郑红军赵冀
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0