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卓丽霞

作品数:4 被引量:1H指数:1
供职机构:电子科技大学更多>>
发文基金:教育部“新世纪优秀人才支持计划”四川省青年科技基金更多>>
相关领域:电子电信理学更多>>

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 4篇光栅
  • 4篇红外
  • 3篇金属光栅
  • 2篇微米
  • 2篇微米级
  • 2篇抗反射
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇光学
  • 2篇红外波段
  • 2篇红外光
  • 2篇红外光学
  • 2篇波段
  • 1篇亚波长
  • 1篇透过率
  • 1篇膜厚
  • 1篇结构参数
  • 1篇光栅结构
  • 1篇红外特性
  • 1篇反射率

机构

  • 4篇电子科技大学

作者

  • 4篇卓丽霞
  • 3篇邓龙江
  • 3篇翁小龙
  • 3篇唐武
  • 2篇陈良
  • 1篇戴瑶

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
微米级抗反射金属光栅的制备方法
微米级抗反射金属光栅的制备方法,属于红外光学领域。本发明包括下述步骤:1)磁控溅射镀膜;2)在膜正面涂覆光刻正胶;3)烘烤去除光刻胶的稀释剂;4)曝光,然后烘烤使图形固定;5)腐蚀多余的金属;6)使用丙酮溶解光刻胶;7)...
唐武卓丽霞邓龙江翁小龙陈良
文献传递
亚波长金属光栅结构的红外特性研究
在红外器件中,很多时候需要对某一特定频率段的电磁波进行选择透过,而大多数材料并不能透过红外电磁波,更不可能实现对特定频带选择透过的效果。本论文基于光栅的EOT现象,利用CST和MATLAB软件设计了一系列不同参数的光栅,...
卓丽霞
关键词:金属光栅结构参数红外特性透过率
文献传递
膜厚对亚波长铝光栅红外反射率的影响
利用CST软件对不同薄膜厚度的亚波长铝光栅红外反射率进行仿真,仿真结果显示薄膜厚度在小范围内变化时并不影响反射率曲线整体形状,只会使反射率曲线在整体上平移。当膜厚大于某特定值时,TM波反射率曲线出现波谷,且谷底位置随着厚...
卓丽霞唐武戴瑶翁小龙邓龙江
关键词:红外反射率亚波长
文献传递
微米级抗反射金属光栅的制备方法
微米级抗反射金属光栅的制备方法,属于红外光学领域本发明包括下述步骤:1)磁控溅射镀膜;2)在膜正面涂覆光刻正胶;3)烘烤去除光刻胶的稀释剂;4)曝光,然后烘烤使图形固定;5)腐蚀多余的金属;6)使用丙酮溶解光刻胶;7)清...
唐武卓丽霞邓龙江翁小龙陈良
文献传递
共1页<1>
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