刘秀蓉
- 作品数：9 被引量：29H指数：2
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 薄膜式锰铜超高压力传感器
- 本发明为薄膜式锰铜超高压力传感器，无机绝缘材料基板(1)上有沉积的锰铜薄膜(2)和电极(3)，锰铜薄膜(2)和电极(3)上覆盖有无机绝缘薄膜(4)，锰铜薄膜(2)可由掩模或光刻方法刻蚀出图形，直接覆盖于基板上或电极上，电...
- 杨邦朝杜晓松周鸿仁刘秀蓉徐蓓娜
- 文献传递
- 薄膜式锰铜超高压力传感器
- 本发明为薄膜式锰铜超高压力传感器,无机绝缘材料基板1上有沉积的锰铜薄膜2和电极3,锰铜薄膜2和电极3上覆盖有无机绝缘薄膜4。锰铜簿膜2可用掩模或光刻方法刻蚀出图形,直接覆盖于基板上或电极上。电极3为铜或复合金属薄膜,厚度...
- 杨邦朝杜晓松周鸿仁刘秀蓉徐蓓娜
- 文献传递
- 高TCR薄膜温度传感器的研究
- 1993年
- 本文作者利用镍金属的优良特性,通过特定的工艺处理和控制,研制出了性能价格比高的薄膜温度传感器,其使用温区为-50～250℃;TCR 可达5900(10^(-6) /℃);线性度为±2. 13%;响应时间≤0. 2秒;电阻值为100～150Ω并可调整。
- 凌志远周洪仁刘秀蓉
- 关键词：镍温度传感器
- 镍薄膜温度传感器被引量：2
- 1989年
- 镍薄膜电阻器是近年来开发研究的新型测温元件。70年代末,日本报导了圆柱状镍膜测温电阻;1985年,联邦德国的Saufer-Cuinulus公司研制出其电阻温度系数等特性达到该国标准的镍薄膜电阻器(温度系数为6170ppm/℃),为此获得1985年度联邦德国传感器发明大奖。
- 周鸿仁刘秀蓉恽正中
- 关键词：温度传感器
- 温度传感器与快速测温被引量：7
- 1999年
- 快速测温在工农业生产、航天、环保、国防和科研中应用普遍,例如测量汽车发动机吸入空气的温度,要求热响应时间小于1s;环境温度测量,要求10～0.2s;深海水中温度测量要求100ms;内燃机燃烧室表面瞬态温度测量要求1～2ms;航天飞机主发动机温度测量要求0.4s;导单和宇航器研制过程气动试验中温度测量,要求50～100ms;测量冲击波和爆轰波波阵面的温度,则要求达到10ns。
- 周鸿仁刘秀蓉杜晓松徐蓓娜杨邦朝
- 关键词：温度传感器温度测量
- 低电阻温度系数锰铜薄膜的制备方法
- 本发明为低电阻温度系统锰铜薄膜的制备方法。采用磁控溅射或射频溅射法沉积锰铜薄膜,通过对基板温度、锰铜靶的温度,以及热处理温度的控制,可使制备的锰铜薄膜的电阻温度系统达到±10×10<Sup>－6</Sup>/℃,达到了与...
- 杨邦朝杜晓松周鸿仁刘秀蓉徐蓓娜
- 文献传递
- 直流磁控溅射铂电阻薄膜被引量：18
- 1997年
- 根据薄膜理论和通过成膜工艺实验，研究了影响铂薄膜电阻温度系数的主要因素。１）对铂靶材料的纯度要求高，含杂质极少；２）淀积薄膜要有一定厚度，通常近于１μｍ才能有较大的α；３）成膜以后，需经过高温热处理，减少缺陷，结晶化改善。通过大量实验，使用高铝陶瓷基片或微晶玻璃基片，溅射铂薄膜的厚度为８００ｎｍ，高温热处理１ｈ，可以获得电阻温度系数为３．８５０×１０－３／℃的铂电阻薄膜。
- 周鸿仁刘秀蓉徐蓓娜
- 关键词：热敏电阻磁控溅射
- 低电阻温度系数锰铜薄膜的制备方法
- 本发明为低电阻温度系统锰铜薄膜的制备方法。采用磁控溅射或射频溅射法沉积锰铜薄膜，通过对基板温度、锰铜靶的温度，以及热处理温度的控制，可使制备的锰铜薄膜的电阻温度系统达到±10×10<Sup>-6</Sup>/℃，达到了与...
- 杨邦朝杜晓松周鸿仁刘秀蓉徐蓓娜
- 文献传递
- 镍膜热敏电阻的研究被引量：2
- 1990年
- 介绍一种新型的温度传感器——镍膜热敏电阻。该传感器的优良特性已为人们所关注。本文着重探讨镍膜热敏电阻的制作工艺条件对其性能的影响。同时介绍了作者研制的镍膜热电阻的特性和主要技术指标。镍膜热敏电阻是一种很有开发前景的感温元件。
- 刘秀蓉周鸿仁恽正中
- 关键词：热敏电阻温度传感器
