刘玉萍
- 作品数：9 被引量：89H指数：5
- 供职机构：华中科技大学电气与电子工程学院更多>>
- 发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信电气工程更多>>
- 高介电性能绝缘材料新制备方法的研究被引量：2
- 2006年
- 概述了用于电容器储能的新型绝缘材料的国内外研究现状,介绍用于提高绝缘材料介电性能的新方法,即低温等离子体技术。从低温等离子体的化学活性出发,重点阐述了可以用于制备、改性绝缘材料的不同等离子体技术和这些技术的发展前景。
- 李斌但敏郭爱波刘玉萍陈枫刘明海胡希伟
- 关键词：绝缘材料介电性能低温等离子体技术
- PECVD法制备TiN功能薄膜的研究
- 本文利用等离子体化学气相沉积法在金属基板上沉积制备TiN陶瓷功能薄膜.利用X射线能谱成分分析仪和扫描电子显微镜分析研究了薄膜的成分及其微观形貌,结果表明,采用等离子体化学气相沉积法,成功地在金属基板上沉积了TiN薄膜.
- 但敏李斌陈枫郭爱波刘玉萍刘明海胡希伟
- 关键词：等离子体化学气相沉积
- 文献传递
- AZO(ZnO∶Al)透明导电薄膜的PECVD制备及其光电特性的研究
- 太阳能是一种清洁的可再生能源，以光伏效应为基础的太阳能电池有着广阔美好的未来。而透明导电薄膜技术，在高效率低成本的太阳能电池研究与生产中占有相当重要的地位。AZO（ZnO:Al）透明导电薄膜不仅具有与ITO(In2O3:...
- 刘玉萍
- 关键词：导电薄膜光电效应
- 文献传递
- PECVD制备AZO(ZnO：Al)透明导电薄膜被引量：13
- 2009年
- 采用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺在普通玻璃和Si基上制备出了方块电阻低至89Ω,可见光透过率高达79%,对基体附着力强的多晶态的AZO(ZnO:Al)薄膜.采用PECVD法制备AZO薄膜是一种有益的尝试,AZO透明导电薄膜不仅具有与ITO(透明导电薄膜,如In2O3:Sn)可比拟的光电特性,而且价格低廉、无毒,在氢等离子体环境中更稳定,所获结果对实际工艺条件的选择具有一定借鉴作用和参考价值.
- 陈兆权刘明海刘玉萍陈伟罗志清胡希伟
- 关键词：等离子体增强化学气相沉积透明导电薄膜
- 等离子体增强化学气相沉积制备的ZnO薄膜研究被引量：6
- 2006年
- 鉴于ZnO薄膜材料的多功能性,用等离子体增强化学气相沉积方法在金属Cu和普通玻璃上生长了ZnO薄膜。扫描电子显微镜获得其表面形貌;能谱分析获得其元素种类及相对含量,在能谱图上明显地观察到了Zn峰和O峰的存在,且Cu基上Zn和O原子比接近1∶1;X射线光电子能谱分析得出样品中的Zn和O全部以化合态存在而不存在Zn原子和O原子。但Cu基上的ZnO薄膜易吸收空气中的氧和水蒸汽,薄膜质量期望通过生长合适过渡层得到改善。
- 郭爱波刘玉萍陈枫李斌但敏刘明海胡希伟
- 关键词：等离子体增强化学气相沉积SEMEDAXXPS
- 羟基磷灰石(HA)的制备方法及其研究进展被引量：13
- 2006年
- HA生物材料作为最有发展前途的生物硬组织替代材料之一,已经成为生物医用材料研究的重点内容。本文在综合了大量的国内外文献的基础上,对羟基磷灰石的不同制备方法及国内外研究现状进行了总结及评论,并提出了相应的设想与展望。
- 但敏李斌陈枫郭爱波刘玉萍刘明海胡希伟
- 关键词：羟基磷灰石HA
- 薄膜太阳能电池的发展动态被引量：18
- 2006年
- 对目前国内外研究得最热的几种薄膜电池:非晶硅(a-Si)、多晶硅(poly-Si)、铜铟硒(CuInSe:CIS)、碲化镉(CdTe)薄膜电池的技术发展概况及商业化生产情况作了介绍,展望了薄膜太阳能电池的发展前景。
- 刘玉萍陈枫郭爱波李斌但敏刘明海胡希伟
- 关键词：薄膜太阳能电池非晶硅多晶硅铜铟硒碲化镉
- 等离子体增强化学气相沉积制备的ZnO薄膜研究
- 鉴于ZnO薄膜材料的多功能性,用等离子体增强化学气相沉积方法在金属Cu和普通玻璃上生长了ZnO薄膜.扫描电子显微镜获得其表面形貌;能谱分析获得其元素种类及相对含量,在能谱图上明显的观察到了Zn峰和O峰的存在,且Cu基上Z...
- 郭爱波刘玉萍陈枫李斌但敏刘明海胡希伟
- 关键词：等离子体化学气相沉积衬底氧化锌
- 文献传递
- AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展被引量：39
- 2007年
- 概述了国内外AZO透明导电薄膜的多种制备技术和开发应用进展。详细介绍了磁控溅射、溶胶-凝胶、脉冲激光沉积、真空蒸镀、化学气相沉积等工艺在AZO薄膜制备中的研究现状,并且在对AZO膜与ITO膜性能比较的基础上,指出AZO薄膜的产业化前景好。
- 刘玉萍陈枫郭爱波李斌但敏刘明海胡希伟
- 关键词：AZO薄膜透明导电氧化物薄膜
