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刘汉法

作品数:65 被引量:209H指数:11
供职机构:山东理工大学更多>>
发文基金:山东省自然科学基金国家自然科学基金山东省高等学校教学改革研究项目更多>>
相关领域:理学电子电信机械工程化学工程更多>>

文献类型

  • 59篇期刊文章
  • 5篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 33篇理学
  • 26篇电子电信
  • 5篇机械工程
  • 4篇化学工程
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇天文地球
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 42篇溅射
  • 41篇透明导电
  • 40篇导电薄膜
  • 40篇透明导电薄膜
  • 40篇磁控
  • 37篇磁控溅射
  • 19篇ZNO
  • 12篇溅射法
  • 10篇衬底
  • 9篇直流磁控
  • 9篇溅射功率
  • 9篇光电
  • 8篇ZR
  • 7篇膜厚
  • 7篇光电性
  • 7篇光电性能
  • 6篇溅射法制备
  • 6篇溅射压强
  • 6篇薄膜厚度
  • 5篇氧化锌

机构

  • 65篇山东理工大学
  • 2篇电子科技大学
  • 1篇莱阳农学院
  • 1篇西安电子科技...

作者

  • 65篇刘汉法
  • 45篇张化福
  • 30篇类成新
  • 21篇袁长坤
  • 18篇袁玉珍
  • 7篇周爱萍
  • 5篇刘云燕
  • 4篇秦华
  • 4篇刘瑞金
  • 4篇王辉
  • 3篇郭美霞
  • 3篇史晓菲
  • 3篇葛硕硕
  • 3篇高金霞
  • 2篇王新峰
  • 2篇王振环
  • 2篇袁文峰
  • 2篇祁康成
  • 2篇陈钦生
  • 2篇武继江

传媒

  • 11篇人工晶体学报
  • 8篇真空科学与技...
  • 6篇半导体技术
  • 5篇光电子.激光
  • 5篇液晶与显示
  • 4篇电子元件与材...
  • 3篇太阳能学报
  • 3篇山东理工大学...
  • 2篇物理学报
  • 2篇光学学报
  • 2篇功能材料
  • 2篇材料导报
  • 1篇光子学报
  • 1篇原子与分子物...
  • 1篇红外技术
  • 1篇大学物理
  • 1篇大学物理实验
  • 1篇光电技术应用

年份

  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 3篇2013
  • 8篇2012
  • 11篇2011
  • 13篇2010
  • 15篇2009
  • 4篇2008
  • 5篇2007
  • 2篇2005
65 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
薄膜厚度对TGZO透明导电薄膜光电性能的影响被引量:7
2011年
利用直流磁控溅射法,在室温水冷玻璃衬底上成功制备出了可见光透过率高、电阻率低的钛镓共掺杂氧化锌(TG-ZO)透明导电薄膜。X射线衍射和扫描电子显微镜研究结果表明,TGZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。研究了厚度对TGZO透明导电薄膜电学和光学性能的影响,结果表明厚度对薄膜的光电性能有重要影响。当薄膜厚度为628 nm时,薄膜具有最小电阻率2.01×10-4Ω.cm。所制备薄膜在波长为400~760 nm的可见光中平均透过率都超过了91%,TGZO薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极。
刘汉法张化福王振环
关键词:透明导电薄膜磁控溅射厚度
遮阳护肤品防紫外线性能实验开发
2007年
利用组合式多功能光栅光谱仪、澳钨灯和吸收池,对遮阳护肤品进行光谱特性分析,对样品的基线和透射谱进行对比,同时配合对样品透过率的分析,可以得到样品的防紫外线性能,从而开发出一个非常受学生欢迎的综合性应用性实验。
刘汉法
关键词:光栅光谱仪基线紫外线波长
Zn_(0.9)Mg_(0.1)O∶Ti透明导电薄膜的制备及研究
2012年
采用磁控溅射法在不同的溅射压强下制备了ZnMgO∶Ti透明导电薄膜。着重研究了溅射压强对ZnMgO∶Ti薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响。结果表明:当溅射功率为80W时,电阻率随着溅射压强的增加先减小后增加,在12 Pa时达到最小值1.9×10-3Ω.cm。薄膜结晶程度、晶粒的均匀性及致密性对电阻率有较大影响。所有条件下制备的薄膜在400~900 nm范围内的透射率均超过90%。相对于6 Pa下沉积的薄膜,在9 Pa和12 Pa下沉积薄膜的光学吸收边界出现"蓝移"现象。用ZnMgO∶Ti透明导电薄膜作透明电极有可能提高太阳能电池的效率。
孙艳王晓晨周爱萍刘汉法张化福
关键词:透明导电薄膜磁控溅射溅射压强透光率
激光在随机分布烟尘团簇粒子中的衰减特性被引量:7
2010年
基于分形理论,采用团簇—团簇凝聚模型对随机分布烟尘团簇粒子的分形结构进行了模拟.利用离散偶极子近似方法研究了不同类型的随机分布烟尘团簇粒子的单次散射特性.利用蒙特卡罗方法研究了激光信号在随机分布烟尘团簇粒子中的传输衰减特性.讨论了入射角、激光波长、烟尘粒子数密度以及组成单个烟尘团簇粒子的原始微粒粒径和数目等参量对激光衰减特性的影响.研究结果对激光在复杂随机介质中的传输衰减特性分析提供了理论依据.
类成新吴振森张化福刘汉法
关键词:蒙特卡罗方法
一种组合非球面反射型太阳能聚光镜镜面的设计方法
本发明公开了一种组合非球面反射型太阳能聚光镜镜面的设计方法,本方法在将旋转抛物面分割成若干段的反射镜,用非球面代替旋转抛物面可以使反射镜面的设计有多个自由度,使聚光镜镜面面型有更多选择,从而更方便的达到偏轴聚焦。在确定偏...
秦华刘瑞金葛硕硕王勇刘汉法类成新袁文峰
文献传递
太阳电池用共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构及性能被引量:4
2011年
采用直流磁控溅射法在室温条件下制备出Al,压共掺杂ZnO透明导电薄膜。用XRD和SEM分析和观察了薄膜的组织结构和表面形貌,着重分析了靶基距对薄膜结构和光电性能的影响。研究结果表明,制备的灿,乙共掺杂ZnO透明导电薄膜为具有C轴择优取向、六角纤锌矿结构的多晶薄膜。靶基距对Al,Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构和电阻率影响显著。薄膜的厚度随靶基距的增加而变薄,在靶基距为60mm时,制备的薄膜厚度为790nm,电阻率具有最小值1.05×10^-3Ω·cm,在可见光区(500—800nm)平均透过率超过92%,在硅基薄膜太阳电池中具有良好的应用前景。
王辉袁玉珍刘汉法张化福刘云燕刘俊成
关键词:AL透明导电薄膜磁控溅射太阳电池
直流磁控溅射法制备铝铬共掺杂氧化锌薄膜及其结构和光电性能的研究被引量:1
2010年
利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了铝铬共掺杂氧化锌(ZACO)透明导电薄膜。通过X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)等表征方法对薄膜特性进行测试分析,研究了溅射压强和溅射功率对薄膜生长速率以及光电特性的影响。结果表明,随着溅射气压(1.5-4.5 Pa)的增大,薄膜沿c轴方向的结晶质量提高,薄膜表面更加致密,晶粒大小更加均匀。薄膜生长率随压强的增大而减小,但电阻率先减小后增大。当溅射功率由80 W增大到100 W时,薄膜的生长速率增大,电阻率减小。溅射压强为3.5 Pa,溅射功率为100 W时,薄膜的电阻率达到最小值2.574×10-3Ω.cm。紫外-可见透射光谱表明,所有薄膜在可见光区的透过率均超过89.9%。
周爱萍刘汉法张化福
关键词:溅射压强溅射功率透明导电薄膜
玻璃衬底和硅衬底沉积TZO透明导电薄膜的对比研究被引量:4
2011年
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底和硅片衬底上制备出掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜。SEM和XRD研究结果表明,两种衬底上的ZnO:Ti薄膜均为为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向。讨论了衬底对掺钛氧化锌透明导电薄膜光学、电学性能的影响。当玻璃衬底薄膜厚度为568nm时,薄膜电阻率达到最小值1.64×10^-4Ω·cm,硅衬底上薄膜厚度为641nm时有最小电阻率2.69x10“Q·啪。两种衬底所制备薄膜都具有良好的附着性能,玻璃衬底薄膜样品在波长为500—800nm的可见光中平均透过率都超过了91%,硅衬底上薄膜样品的折射率约为2.05,ZnO:Ti薄膜可以用作薄膜太阳电池的透明电极。
刘汉法张化福袁玉珍袁长坤类成新
关键词:透明导电薄膜磁控溅射光电性能
随机取向烟尘团簇粒子激光散射特性研究被引量:14
2010年
利用蒙特卡罗方法根据团簇-团簇凝聚(CCA)模型对由球形原始粒子凝聚而成的烟尘团簇粒子进行了模拟,用离散偶极子近似(DDA)方法研究了烟尘团簇粒子随机取向时的激光散射特性,并与等效球形粒子的激光散射特性进行了比较。结果表明,等效球形粒子的激光散射特性与随机取向烟尘团簇粒子的激光散射特性存在着明显差别,不能用等效球形粒子来代替随机取向的团簇粒子;随机取向的烟尘团簇粒子的激光散射特性受基本粒子数量和粒径的影响比较大。该结果将为进一步研究随机取向团簇粒子的形成机理、形态特性以及激光在其中的传输特性提供了一种理论方法。
类成新刘汉法张化福
关键词:物理光学
煤烟气溶胶粒子对太阳辐射的消光特性研究被引量:15
2010年
采用蒙特卡罗方法,根据团簇-团簇凝聚(CCA)模型对随机取向且具有分形结构的煤烟气溶胶粒子进行了仿真模拟,利用离散偶极子近似(DDA)方法计算了随机取向的煤烟气溶胶粒子从紫外到红外波段的吸收、散射与消光效率因子,得到了太阳辐射波长、原始微粒的粒径和数目对煤烟气溶胶粒子的消光特性影响规律。通过将所得数值结果与T矩阵方法的数值结果进行比较发现,两种数值方法计算的结果非常相近,这验证了所用DDA方法的正确性。研究表明,炭和灰凝聚粒子对太阳辐射存在着不同程度的消光作用,其消光影响主要集中在紫外到近红外波段;随机取向的煤烟气溶胶粒子对太阳辐射的消光特性受基本粒子数量和粒径的影响比较大。
类成新张化福刘汉法
关键词:大气光学
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