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刘权
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10
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供职机构:
中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
曹鸿涛
中国科学院宁波材料技术与工程研...
梁凌燕
中国科学院宁波材料技术与工程研...
罗浩
中国科学院宁波材料技术与工程研...
李秀霞
中国科学院宁波材料技术与工程研...
秦瑞锋
中国科学院宁波材料技术与工程研...
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机构
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中国科学院宁...
作者
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梁凌燕
10篇
曹鸿涛
10篇
刘权
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罗浩
6篇
李秀霞
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秦瑞锋
年份
1篇
2018
2篇
2017
2篇
2016
1篇
2015
4篇
2014
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pn结及其制备方法
本发明公开了一种pn结及其制备方法,该pn结包括n型Si半导体层和位于所述n型Si半导体层中部区域的p型SnO半导体层,其中,所述n型Si半导体层上设置有第一电极;所述p型SnO半导体层上设置有第二电极。本发明的pn结有...
梁凌燕
李秀霞
曹鸿涛
罗浩
刘权
秦瑞锋
文献传递
一种双极性薄膜晶体管
本发明公开了一种双极性薄膜晶体管,从下至上依次包括:衬底、栅电极层、栅介质层、沟道层,所述沟道层上设有源极和漏极,源极与沟道层的接触面和漏极与沟道层的接触面上分别设有透明的势垒层,所述势垒层材质的禁带宽度大于所述的沟道层...
刘权
梁凌燕
罗浩
邓福岭
曹鸿涛
文献传递
一种氮化锌锡多晶薄膜的制备方法
本发明公开了一种氮化锌锡多晶薄膜的制备方法,首先将清洗好的衬底和锌锡合金靶材放置在磁控溅射设备相应位置后,抽真空;再通入氮气,调节工作气压为1~3Pa,溅射功率为120~300W,经N离子轰击阴极锌锡合金靶材,在衬底上沉...
梁凌燕
曹鸿涛
邓福岭
刘权
李秀霞
罗浩
文献传递
双极性薄膜晶体管及其制备方法
本发明公开了一种双极性薄膜晶体管及其制备方法,其中双极性薄膜晶体管包括衬底;位于衬底表面的栅电极和位于栅电极表面的栅介质层;位于栅介质层表面的氧化物沟道层;位于氧化物沟道层表面的源电极和漏电极;以及位于源电极和漏电极之间...
梁凌燕
曹鸿涛
罗浩
刘权
李秀霞
邓福岭
氧化亚锡织构薄膜及其制备方法
本发明公开了一种氧化亚锡织构薄膜及其制备方法,本发明采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积得到氧化亚锡主体层和金属氧化物覆盖层,通过金属氧化物覆盖层的作用改变氧化亚锡薄膜的表面能,进而达到控制热处理过程中氧化亚锡主体层结晶取向...
刘权
梁凌燕
曹鸿涛
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氧化亚锡织构薄膜及其制备方法
本发明公开了一种氧化亚锡织构薄膜及其制备方法,本发明采用电子束蒸发法在衬底上依次沉积得到氧化亚锡主体层和金属氧化物覆盖层,通过金属氧化物覆盖层的作用改变氧化亚锡薄膜的表面能,进而达到控制热处理过程中氧化亚锡主体层结晶取向...
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pn结及其制备方法
本发明公开了一种pn结及其制备方法,该pn结包括n型Si半导体层和位于所述n型Si半导体层中部区域的p型SnO半导体层,其中,所述n型Si半导体层上设置有第一电极;所述p型SnO半导体层上设置有第二电极。本发明的pn结有...
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一种双极性薄膜晶体管
本发明公开了一种双极性薄膜晶体管,从下至上依次包括:衬底、栅电极层、栅介质层、沟道层,所述沟道层上设有源极和漏极,源极与沟道层的接触面和漏极与沟道层的接触面上分别设有透明的势垒层,所述势垒层材质的禁带宽度大于所述的沟道层...
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一种氮化锌锡多晶薄膜的制备方法
本发明公开了一种氮化锌锡多晶薄膜的制备方法,首先将清洗好的衬底和锌锡合金靶材放置在磁控溅射设备相应位置后,抽真空;再通入氮气,调节工作气压为1~3Pa,溅射功率为120~300W,经N离子轰击阴极锌锡合金靶材,在衬底上沉...
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双极性薄膜晶体管及其制备方法
本发明公开了一种双极性薄膜晶体管及其制备方法,其中双极性薄膜晶体管包括衬底;位于衬底表面的栅电极和位于栅电极表面的栅介质层;位于栅介质层表面的氧化物沟道层;位于氧化物沟道层表面的源电极和漏电极;以及位于源电极和漏电极之间...
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