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刘亚红

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇生产型
  • 1篇自动控制
  • 1篇自动控制系统
  • 1篇控制系统
  • 1篇GAN
  • 1篇GAN生长
  • 1篇MOCVD
  • 1篇MOCVD设...

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇宋玲
  • 1篇刘亚红
  • 1篇廖炼斌
  • 1篇杨基南
  • 1篇李学文

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于GaN生长的生产型MOCVD设备控制系统设计被引量：2
2005年
MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视。MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高。主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2″×6)设备控制系统的组成与特点。设备运行一年来的结果表明,该系统可靠性高、抗干扰性好、运行效果良好。
宋玲李学文廖炼斌刘亚红杨基南
关键词：MOCVDGAN自动控制系统
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