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傅万里

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇科技成果
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 3篇压力传感器
  • 3篇汽车
  • 3篇汽车工业
  • 3篇汽车工业用
  • 3篇微电子
  • 3篇微电子机械
  • 3篇微电子机械系...
  • 3篇力传感器
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇中试
  • 2篇光源
  • 2篇红外
  • 2篇红外光
  • 2篇红外光源
  • 2篇MEMS
  • 1篇交会
  • 1篇交易会
  • 1篇高新技术成果...

机构

  • 4篇厦门大学

作者

  • 4篇傅万里
  • 3篇伞海生
  • 3篇石鹏
  • 3篇陈旭远
  • 2篇杜永刚
  • 1篇谷丹丹
  • 1篇张春权
  • 1篇张玉龙

传媒

  • 1篇厦门科技

年份

  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2001
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
MEMS红外光源的研发中试，汽车工业用压力传感器产业化及微纳米技术产业化工艺平台开发与建设
陈旭远伞海生石鹏杜永刚傅万里
1、MEMS红外光源：　　微电子机械系统（MEMS）红外光源采用硅体微机械加工技术开发制造。光源使用绝缘体上硅（SOI）晶片以简化制造工艺，以多晶硅材料为电阻加热发光薄膜，通过微米量级发光层实现高调制频率（不低于40Hz...
关键词：
关键词：红外光源汽车工业压力传感器
汽车工业用MEMS传感器的研发和产业化及微纳制造产业化平台的建设
陈旭远伞海生石鹏傅万里谷丹丹张玉龙张春权蒋树森
汽车工业用MEMS(微电子机械系统)传感器是厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心应国内、国外市场发展的要求而自主研发的传感器,包括硅基MEMS红外光源和硅基MEMS压力传感器。项目依托厦门大学4英寸的MEMS生产线，项目实现...
关键词：
关键词：微电子机械系统压力传感器汽车工业
MEMS红外光源的研发中试,汽车工业用压力传感器产业化，及微纳米技术产业化工艺平台开发与建设
陈旭远伞海生石鹏杜永刚傅万里
1、MEMS红外光源：　　微电子机械系统（MEMS）红外光源采用硅体微机械加工技术开发制造。光源使用绝缘体上硅（SOI）晶片以简化制造工艺，以多晶硅材料为电阻加热发光薄膜，通过微米量级发光层实现高调制频率（不低于40Hz...
关键词：
关键词：红外光源汽车工业压力传感器
厦门大学再次独立组团参加高交会
2001年
傅万里
关键词：高新技术成果交易会
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