任春生
- 作品数:58 被引量:232H指数:6
- 供职机构:大连理工大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金辽宁省自然科学基金教育部长江学者奖励计划更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>
- 大气压脉冲放电等离子体的研究现状与展望被引量:75
- 2011年
- 近年来,大气压脉冲放电等离子体研究受到了人们的格外关注.研究表明与交流驱动相比,脉冲放电产生大气压等离子体具有许多优势,如它的VUV、氧原子、及臭氧的产生效率高;峰值电流密度、电子密度、及电子产生效率也更高;在对介质表面处理时能达到更好的处理效果和更高的效率;还更易产生均匀的大面积等离子体;所产生等离子体的非平衡性更高;灭菌效果也更好等优点.但是,对于脉冲放电的放电机理,放电模式,及脉冲参数(上升沿和下降沿、重复频率、脉冲宽度等)对放电效果的影响,现在的研究还非常有限,且很零散.这一方面是由于大气压放电诊断本身就很困难,另一方面,由于脉冲放电快速的时空演化过程进一步加大了对其诊断的难度.再者,对其研究还受到脉冲电源参数的限制.本文对国际上大气压脉冲放电等离子体最新研究的代表性研究成果做了一个综述,并对今后的研究方向提出了几点建议.
- 卢新培严萍任春生邵涛
- 关键词:脉冲放电等离子体非平衡等离子体介质阻挡放电
- MBMI技术TiN膜的工艺、结构及性能研究
- 文章介绍了多束动态混合注入(MBMI)设备及技术特点,利用MBMI技术制备超厚(35μm)高结合力(5600f)TiN膜,并对TiN膜进行了XRD、SEM、扫描电子能谱分析,结果显示,MBMI技术TiN膜具有致密而无空洞...
- 任春生
- 关键词:TIN膜离子注入耐蚀性
- 一种在大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体的装置
- 本实用新型提供一种在大气压空气中产生大间隙、大面积均匀放电等离子体的装置,属于大气压低温等离子体技术领域。装置包括上电极、上介质板、下电极、下介质板、金属柱、风道系统和纳秒脉冲电源,有两种形式:一种上、下电极结构对称,另...
- 郭宏飞刘一荻樊智慧王玉英闫慧杰任春生
- 文献传递
- 等离子体离子源磁场分布数值计算被引量:3
- 2002年
- 在离子源的设计中 ,为了减少等离子体的器壁复合损失 ,经常采用磁场对等离子体进行约束 ;但磁场分布的复杂性 ,给实际测量带来了困难 .介绍采用磁荷法对低能辐照离子源中磁场分布进行计算 ,给出了计算结果 ,并讨论了误差可能产生的原因及其影响 .计算结果对于离子源设计中的阴极热电子发射、离子束有效引出面积确定及等离子体的有效约束等重要问题有一定参考价值 .
- 任春生牟宗信李国卿钟溥
- 关键词:等离子体离子源磁场分布磁约束磁场位形离子束
- 简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器
- 本发明属于等离子体放电反应器技术领域,涉及一种简易大气压悬浮电极冷等离子体射流发生器。特征在于:装置主体为一根毫米量级石英管,与供气源相连一端为发生器进气口,另一端为射流出口;射流出口上方有一对针电极嵌入石英管内,两电极...
- 聂秋月任春生王德真
- 文献传递
- 纳秒脉冲等离子体射流的产生及其特征研究被引量:6
- 2010年
- 利用纳秒脉冲放电在单针、环状、以及单针加环状三种不同电极结构下产生了均匀稳定的等离子体射流;通过光学和电学诊断研究了三种不同结构下等离子体射流的运行特性及相应的物理机制。实验结果表明,以上三种等离子体射流的转动温度均为295K,振动温度分别为1900K,2000K和2100K,都属于非平衡态等离子体;其中,基于单针和环状电极的混合型射流可产生更为均匀稳定的等离子体,且富含较多的活性物种,有望在材料表面处理及消毒灭菌等领域发挥一定作用。
- 朱海龙任春生吕晓桂聂秋月王德真马腾才
- 关键词:纳秒脉冲等离子体射流发射光谱诊断
- 大气压氦气介质阻挡放电模式转换的研究(英文)
- 2007年
- 通过电压-电流波形和发光图片研究了大气压氦气介质阻挡放电中的模式转换现象.实验结果表明了通过改变外加电压的大小,可以引起放电模式的变化.随着电压的逐渐升高,放电依次经历汤生放电、局域辉光放电和辉光放电.局域辉光作为从汤生放电向辉光放电的一个过渡阶段.
- 徐振峰齐冰任春生王德真
- 关键词:等离子体辉光放电
- 放电参数对同轴枪中等离子体团的分离的影响被引量:5
- 2015年
- 同轴枪中的等离子体团的分离现象主要是由同轴枪内磁场的梯度造成的电流层倾斜而引起的一个增强反馈过程导致的,这种分离现象越来越成为限制同轴枪有效使用的一个不利因素.在实验上研究放电参数对等离子体团的分离的影响,对理论研究和实际应用都具有重要意义.在实验中发现,利用光电倍增管可以直接观察到等离子体团的分离程度,由此可以研究放电参数对等离子体团的分离的影响.本实验主要研究电容充电电压、电容、放电气压这三个参数对分离现象的影响.实验发现,分离程度随着电容以及其充电电压的增大而增强,随着气压的增大而减弱.实验结果基于雪犁模型进行分析,电容以及电容充电电压的增大使放电电流增强使磁场梯度增大而导致电流层的倾斜程度增加,而使等离子体团的分离程度变严重,相反,气压的增加使需要加速更多粒子而导致电流层的倾斜程度减弱,而使等离子体团分离程度减弱.分析认为,通过控制在加速过程中影响电流层倾斜程度的因素可控制共轴枪中等离子体团的分离程度.
- 张俊龙杨亮闫慧杰滑跃任春生
- 关键词:光电倍增管
- 低温等离子体中的介质阻挡放电
- 2022年
- 介质阻挡放电(Dielectric Barrier Discharge,DBD)是一种常见的大气压开放环境下能产生非热平衡低温等离子体的放电方式。由于其放电结构中有绝缘介质层存在,因而能够有效地抑制局部火花或电弧的产生,从而产生大面积、高能量密度低温非平衡等离子体。DBD放电结构有很多种,最典型的是以针板电极、板板电极为代表的体放电以及能将等离子体引出到开放空间的射流发生器等。
- 任春生王友年
- 关键词:介质阻挡放电非平衡等离子体低温等离子体高能量密度针板电极
- 低能高束流氩离子源的结构及性能被引量:1
- 2006年
- 离子源技术是等离子体研究中的一项重要内容,而低能大束流源则是离子源技术研究中的一个重要方向,因为这样的源在离子束刻蚀、离子束溅射镀膜以及荷能粒子与物质相互作用方面都有广泛的应用;本文采用空心阴极空心阳极结构,用热阴极电子发射弧放电驱动并用磁场约束产生等离子体,用曲面发射引出离子束,研制成了氩气放电溅射离子源;研究了灯丝加热电流、弧压对弧流的影响和弧流与工作气体压力对离子束引出的影响规律。离子源的引出电压在0—4.0kV之间连续可调,最大引出束流为100mA,束斑面积为φ6.0cm,以Ti为溅射靶时的最大溅射沉积率为0.45nm/s,离子源可连续工作160h。
- 任春生牟宗信王友年
- 关键词:空心阴极磁场溅射沉积