付秀华
- 作品数：239 被引量：521H指数：12
- 供职机构：长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 红外增透与保护膜技术的研究被引量：14
- 2006年
- 采用电子束与离子辅助沉积技术，在氟化镁晶体材料上制备3．5～4．9μm增透与保护膜。经过实验，选取氧化钛与二氧化硅作为薄膜材料，并优化沉积工艺参数，尽可能减少吸收损失，对氟化镁基底实现有效的增透和保护。实验结果表明，镀膜后其单面剩余反射率由未镀膜时的2．5％减少到1．2％，并能承受湿热和雨淋测试。
- 付秀华董连和付新华王崇娥
- 关键词：红外增透膜保护膜离子辅助沉积
- 非球面反馈补偿铣磨抛光及工艺参数优化被引量：1
- 2013年
- 通过对口径Φ84mm平凸非球面透镜加工工艺的研究,提出了全口径柔性抛光结合小磨头修正抛光的试验方案。通过实验引入铣磨补偿量来抵消全口径抛光带来的面型误差,并对小磨头修正抛光比较突出的工艺参数进行单因素试验,其中包括小磨头尺寸选择,抛光压力选择。通过改变抛光盘尺寸有效减少了中频误差,优化工艺流程参数后抛光的元件面型精度(PV值)0.49μm,达到中等精度要求。总结出一套效率高,成本低,重复性好的数控研抛非球面方法,可实现中小口径非球面元件大批量快速加工。
- 付秀华叶斯哲贾宗合石彭王奉瑾
- 关键词：非球面反馈补偿单因素
- 589nm激光器光路整合系统滤光膜的研制被引量：7
- 2013年
- 为了提高黄光激光器的信噪比,采用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料,通过电子枪蒸发及离子辅助沉积技术,利用制备的589、1064、1178、1342nm波长处分别有特定透射率的干涉截止滤光片对无用光信号进行过滤。在实际镀制过程中,由于沉积工艺条件不同,导致材料折射率的不稳定。另外监控方法易引起误差.通过调整优化工艺参数并调整膜系,有效控制膜厚监控精度,提高了对应波长的光学性能。经过高温、潮湿等恶劣环境测试,该滤光片满足黄光激光器的使用要求。
- 付秀华黄金龙莫朝燕王煜
- 关键词：膜系设计黄光激光器
- 可见与近红外激光通信系统光学滤光膜的研制被引量：10
- 2012年
- 在空间光通信中,光学系统起着非常重要的作用,光学薄膜技术已成为制作光学元件的关键技术。对532、808、1064、1550nm激光工作的4个波段,选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料,借助于膜系设计软件,采用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法设计并制备了激光滤光膜。镀膜后的基片在808nm处的透射率大于90%,532、1064、1550nm处的反射率均大于99%。重点解决了808nm透射区半波孔的问题,通过对基片进行清洁、减少薄膜的吸收和进行真空退火等方法提高了膜层的激光损伤阈值。经过性能测试和评估,满足系统的要求。
- 付秀华寇雷雷张静许阳月张燃
- 关键词：离子辅助沉积激光损伤阈值空间光通信
- 单一蒸发源膜厚分布的均匀性被引量：7
- 2019年
- 基于非余弦膜厚计算公式,提出了利用极坐标简化表征膜厚分布的方法,对单源电子束蒸发的光学薄膜的膜厚均匀性控制进行了研究,同时对修正板的放置位置进行了计算。相对于传统修正板置于蒸发源正上方的方法,采用极坐标法计算得到的修正板位置更有利于控制膜厚分布的均匀性。以蒸发H4和MgF2为例,分别对高、低折射率材料的修正板位置和形状进行计算,并利用这两种材料分别制备单层膜,实测光谱均匀性偏差优于0.3%,证明了所提方法的正确性与可行性。
- 付秀华赵迪卢成马国俊鲍刚华
- 关键词：光学镀膜膜厚均匀性
- 一种液体毛细键合装置
- 本发明提供了一种液体毛细键合装置，包括载物台（1）、一维滑轨（2）、滑块（3）、联接块（4）、高压气体喷枪（5）、电磁阀门（6）、气体容器（7）、图像采集单元（8）、成像光学系统（9）和上位机（10）。该装置采用图像采集...
- 王菲邢鹏岳陈润泽李玉瑶方铉魏志鹏王晓华付秀华
- 文献传递
- 可见与红外双波段宽带增透膜的研制被引量：11
- 2009年
- 根据军用光学仪器的使用要求,在多光谱ZnS基底上镀制增透膜,要求薄膜在可见与近红外波段400～1000nm及远红外波段7～11μm的平均透射率均大于90%。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择ZnS和YbF3作为高低折射率材料,利用最新OptiLayer软件三大模块的功能辅助,调整镀膜工艺参数,改进监控方法,减少膜厚控制误差,在多光谱ZnS基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段400～1000nm的平均透射率大于91%,远红外波段7～11μm的平均透射率大于90%,能够承受恶劣的环境测试,完全满足军用光学仪器的使用要求。
- 贺才美付秀华张家斌李珊
- 关键词：光学薄膜真空镀膜离子辅助沉积
- 254nm低通滤光片的研制被引量：4
- 2010年
- 根据紫外光学系统的设计要求,在K9基底上研制了254 nm高反射率、可见光谱区高透过率的低通滤光片。根据膜系设计理论,通过针法优化,获得了干涉型低通滤光片的膜系;对电子束蒸镀HfO2和MgF2材料进行了研究,解决了材料喷溅的问题,减少了薄膜的吸收;采用考夫曼离子源,通过优化工艺参数,提高膜层致密性,解决了光谱曲线漂移的问题,改善了成膜质量。
- 张睿智付秀华牟光远唐吉龙
- 关键词：电子束蒸发
- 多功能防油污减反膜的研制被引量：3
- 2014年
- 为了改善光学镜头表面的耐污染性，选取新型抗油污含氟有机材料、氧化铟锡导电薄膜材料、TiAl合金以及SiO2做为中、高、低折射率镀膜材料．借助TFCalc软件进行膜系设计，采用离子源辅助沉积的方法，通过电子柬真空镀膜设备进行制备．对比实验发现，不同的真空度环境以及不同的膜层厚度，对于薄膜的防油污性能的影响有所差异．通过对防油污性能的测试，不断优化沉积工艺参量，获得了在350～700nm波段平均理论反射率小于1％的宽带减反射膜．该薄膜具有憎水憎油抗污染能力，牢固度好，抗辐射能力强，可应用于军事、医疗、民用等各个领域．
- 付秀华吴冠岐刘冬梅寇洋韩放
- 关键词：光学薄膜防油污抗辐射
- 日盲紫外告警系统中成像滤光片的研制被引量：13
- 2011年
- 为满足紫外告警系统成像需要,实现对太阳光谱盲区光子图像接受检测的作用,研制了一种紫外成像滤光片。采用电子束(EB)加热蒸发和离子辅助沉积(IAD)的方法,在熔融石英(JGS1)基底上镀氧化铪、氟化镁、紫外二氧化硅等薄膜材料,并借助石英晶体振荡法和光电极值法相结合的方式监控膜层厚度,镀制了满足入射角0°～25°范围内240～280nm波段透射、300～620nm波段抑制的紫外滤光片。通过对膜系优化设计和工艺参数的研究,解决了薄膜脱膜、膜厚的精确控制、材料的吸收等问题。制备的滤光片经膜层性能测试,基本满足告警系统的要求。
- 王正凤付秀华张静孔辉孙英杰
- 关键词：离子辅助沉积紫外告警
