丁宇清
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 斜离子束辅助沉积对Co80Nb20薄膜结构及磁性能的影响
- 本文采用斜离子束辅助沉积(IBAD)方法制备了Co80Nb20合金薄膜,研究了离子束入射角度对薄膜结构、组织及磁性能的影响.结果表明:当离子束入射角度小于30°时形成fcc亚稳合金薄膜,入射角增大到30°后转变为hcp固...
- 李晓伟丁宇清曾飞谷宇耿魁伟潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积入射角合金薄膜
- 文献传递
- 斜离子束辅助沉积对Co_(80)Nb_(20)薄膜结构及磁性能的影响被引量：1
- 2005年
- 采用斜离子束辅助沉积(IBAD)方法制备了Co80Nb20合金薄膜,研究了离子束入射角度对薄膜结构、组织及磁性能的影响。结果表明:当离子束入射角度小于30°时形成fcc亚稳合金薄膜,入射角增大到30°后转变为hcp固溶体;Co80Nb20薄膜均表现出平面易磁化特征,在入射角小于75°时Co80Nb20薄膜矫顽力较小;当离子束入射角度增大到75°后,薄膜在平行膜面方向矫顽力明显增大,而垂直膜面方向矫顽力减小。从理论上讨论了离子束入射角度对原子混合、热峰效应、薄膜内应力及亚稳结构形成的影响。
- 李晓伟丁宇清曾飞谷宇耿魁伟潘峰
- 关键词：钴铌离子束辅助沉积入射角
- 斜离子束辅助沉积对Co_(30)Nb_(70)薄膜结构及其热稳定性的影响被引量：3
- 2006年
- 本文研究了离子束辅助沉积(IBAD)Co30Nb70薄膜过程中离子束入射角对薄膜微结构及热稳定性的影响。实验结果表明,在0°到75°范围内改变离子束入射角均可得到Co30Nb70非晶薄膜,但样品微结构出现变化,观察到多孔和沟槽结构。所有样品经300℃退火30 min,入射角为45°制备的样品出现强织构bcc亚稳相,其它入射角沉积的样品均保持非晶相。继续将样品在450℃退火30 min,入射角45°沉积的样品中bcc亚稳相消失,溶入非晶相;15°和75°入射沉积的样品开始晶化。分析认为:离子束入射角变化引起的原子混合效应的改变,以及薄膜中的多孔结构对上述变化有重要影响。
- 丁宇清曾飞谷宇耿魁伟潘峰
- 关键词：离子束辅助沉积非晶多孔结构入射角热稳定性
