饶志军
- 作品数：6 被引量：36H指数：4
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：教育部留学回国人员科研启动基金天津市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程化学工程更多>>
- 脉冲激光MEMS加工技术被引量：4
- 2003年
- 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统 (MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米 /亚微米加工精度 ,且适用于多种材料 ,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处。进一步阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光 LIGA技术。
- 李艳宁唐洁饶志军宋晓辉胡晓东傅星胡小唐
- 关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀集成电路
- 旋转喷雾技术及其机电系统的研究
- 旋转喷雾技术通过高速旋转设备使料液雾化为微米级尺寸的液滴。其核心设备为旋转喷雾器，通过高速电机驱动雾化轮高速旋转，高速旋转的雾化轮产生强大的离心力，悬浊液或乳浊液形式的物料通过雾化轮结构特殊的喷嘴喷出，从而被雾化为具有微...
- 饶志军
- 关键词：临界转速PLC控制机电系统雾化机理
- 文献传递
- 微悬臂梁谐振技术检测溶液粘度的研究被引量：5
- 2005年
- 提出了一种测量溶液粘度的微悬臂梁谐振技术。推导了溶液粘度与微悬臂梁的谐振频率的理论关系式,并利用原子力显微镜的微悬臂梁测量了不同质量分数的甘油溶液和蔗糖溶液的粘度。与落球法测量结果的比较表明,利用微悬臂梁谐振频率技术测量液体粘度的误差小于4%。这种方法不仅可以作为液体粘度的一般性测量方法,也可以通过检测溶液粘度变化来监测溶液中的化学反应。
- 李艳宁唐洁饶志军傅星胡小唐
- 关键词：粘度微悬臂梁谐振频率原子力显微镜
- 脉冲激光MEMS加工技术
- 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到...
- 李艳宁唐洁饶志军宋晓辉胡晓东傅星胡小唐
- 关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀激光微加工
- 文献传递
- 一种新型STM纳米计量仪被引量：2
- 2004年
- 阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫描部分放弃了传统管式扫描器和三角架扫描器,将扫描分为Z向和X Y平面扫描两部分,Z向扫描由独立的PZT驱动,X Y扫描由两个PZT驱动的柔性平行四杆导轨完成.这种设计理论上能使Z方向上Abbe误差完全消除,X Y方向上Abbe臂缩小到扫描范围的一半,最大50μm,使Abbe误差减小至可忽略的程度.微型激光干涉仪的使用还消除了扫描器PZT的非线性、滞后、爬行和老化等误差.
- 李艳宁饶志军唐洁宋晓辉胡晓东付星胡小唐
- 关键词：扫描隧道显微镜柔性铰链激光干涉仪
- 纳机电系统被引量：17
- 2004年
- 纳机电系统 (NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域 ,同时也是纳米技术的重要组成部分 .文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性 ,并列举了NEMS在生物、信息和纳米流体学等领域的应用 .最后讨论了NEMS在发展中遇到的问题和涉及到的关键技术 ,如微观效应的影响 ,NEMS加工技术 ,NEMS的设计、仿真和优化 ,NEMS器件的驱动与检测 ,NEMS器件与宏观世界的通讯等 .
- 胡小唐李源饶志军胡春光傅星
- 关键词：微机电系统纳机电系统
