郭虎岗
- 作品数：7 被引量：22H指数：2
- 供职机构：中北大学机械工程与自动化学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术兵器科学与技术更多>>
- (100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式被引量：8
- 2008年
- 为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量块结构的加速度计为模型,为了在加工过程中,得到完整的质量块结构,使结构具有更好的对称性,对各种凸角补偿方式进行了研究.利用(100)面硅片各向腐蚀速率的快慢特性和一定的几何知识,计算出各种凸角补偿方式最佳的补偿几何尺寸模型.这样,在设计加速度计制造工艺时,就可以直接利用这些尺寸模型,得到最佳的结构.
- 郭涛范波郭虎岗高健飞
- 关键词：湿法腐蚀凸角补偿各向异性腐蚀
- 基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制
- 2008年
- 将微机械加工工艺与混合集成技术相结合,设计并制作了具有RS422标准接口的数字三轴加速度传感器。采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺将敏感元件、信号调理电路、模数转换电路和接口电路集成于一体,集成后的体积为45mm×45mm×15mm,实现了传感器的数字化、小型化和模块化,并大大提高了系统的测量精度和可靠性。
- 刘俊郭虎岗马喜宏谭秋林
- 关键词：数字传感器加速度传感器低温共烧陶瓷
- 混合集成电路的电磁兼容设计被引量：12
- 2008年
- 本文主要介绍了在混合电路设计时需考虑的电磁兼容问题,并分析了产生问题的原因。从电子系统电磁兼容性角度出发,详细地叙述了混合集成电路的布局和布线规则,并进行了讨论。
- 郭虎岗刘俊马喜宏
- 关键词：混合集成电路电磁兼容电磁干扰
- 厚膜混合集成MEMS电容式加速度计
- 2009年
- 设计了电容式加速度计的信号检测电路。与电容式加速度计表头进行了联调和测试。并进行了标定。为减小体积。提高电容式加速度计的检测精度，采用了厚膜混合集成技术．将检测电路和电容式加速度计集成于一体。最后进行了电路测试和性能测试。
- 郭虎岗王玲高健飞马宗敏孟美玉
- 关键词：电容式加速度计厚膜混合集成MEMS混合集成技术电路测试
- 微加速计固有频率的推导及验证(英文)被引量：2
- 2008年
- 为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性,避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的.文中针对一种四边八梁结构的高g值压阻式加速度计,通过力学知识,简化结构并推导出其固有频率的理论计算公式,利用有限元仿真软件和测试高g值加速度计频率特性的方法,对该理论公式进行了仿真和实验验证,证明该理论公式的正确性和可用性.同时,文中介绍的简化结构的模型,能够用于复杂结构的应力、应变等的求解,验证的实验方法可以用于高g值加速度计固有频率的测试.而且,在加速度计结构的设计过程中,直接利用固有频率公式计算出结构的固有频率,从而简化加速度计的结构设计和优化过程,设计出最合理的固有频率结构.
- 熊继军范波郭虎岗高建飞
- 关键词：固有频率微加速度计
- Hybrid integrated capacitance accelerometer
- In this work, micro differential capacitance detecting circuit and signal conditioning circuit of capacitive a...
- 马喜宏郭虎岗刘俊
- 关键词：ACCELEROMETER
- 数字式加速度传感器的厚膜混合集成技术研究
- 航空航天、武器装备等行业的不断发展，对硅微加速度传感器提出了更苛刻的要求：体积小、低功耗、高可靠性等。在这样的背景下，本文通过对厚膜混合集成电路设计技术及关键工艺过程的研究，探索采用厚膜改进型工艺和新材料，设计制作了一种...
- 郭虎岗
- 关键词：加速度传感器厚膜混合集成电路厚膜电路
- 文献传递
