邓小翠
- 作品数:5 被引量:7H指数:2
- 供职机构:西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金西安应用材料创新基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学电气工程电子电信更多>>
- (Pb,La)(Zr,Ti)O3铁电阵列的制备及其性能研究
- 铁电薄膜在非挥发性铁电存储器及非制冷红外探测器中有广阔的应用前景。随着存储器密度及红外探测器成像分辨率的提高,大面积及高密度铁电阵列的制备,尤其是薄膜微细化后是否还保持铁电特性等研究引起了国内外研究者的极大关注。本文将化...
- 邓小翠
- 关键词:PLZT激光干涉法
- 文献传递
- 基于原子力显微技术的PZT微阵列图形铁电性能被引量:1
- 2008年
- 应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法,在无顶电极的情况下,直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线。结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能够表征铁电电容的电滞回线,并且可以定性地评价薄膜微电容的铁电特性。
- 徐国敏赵高扬张卫华邓小翠谭红何力
- 关键词:锆钛酸铅铁电薄膜电滞回线微细图形
- 亚微米PZT阵列制备及铁电性能研究被引量:2
- 2007年
- 采用感光溶胶-凝胶法,在ITO/石英基板上制备了具有紫外感光性的PZT前驱溶胶及凝胶薄膜.利用薄膜自身的感光性,采用He-Cd紫外激光双光束干涉和二次曝光工艺,结合有机溶剂溶洗和600℃,15min热处理,制备了点阵周期为1μm,阵列格点尺寸为480nm×480nm×40nm的PZT薄膜阵列.并将原子力显微镜(AFM)和铁电测试仪联用,采用具有导电涂层的探针,通过扫描获得铁电阵列的三维图像.据此图像,把探针定位于特定的微小格点上,由铁电仪通过AFM探针提供电压,并经探针将测试信号反馈给铁电仪,以获得格点的电滞回线.结果表明,亚微米量级的PZT阵点随外电场的变化可以实现极化反转,表现出明显的铁电特性.
- 赵高扬张卫华徐国敏邓小翠蒋百灵赵卫
- 关键词:锆钛酸铅铁电薄膜感光性电滞回线
- 基于原子力显微技术的PZT薄膜铁电性能研究被引量:2
- 2010年
- 针对现有测试技术不能直接获得纳米尺度铁电薄膜电滞回线的问题,提出了将原子力显微镜与铁电分析仪连用的方法,研究了锆钛酸铅(PZT)薄膜样品的电滞回线。结果表明,应用铁电分析仪与原子力显微镜联用的测试技术能表征铁电薄膜的电滞回线,在无顶电极测试条件下,测试得到的电滞回线很不对称,且剩余极化值较大。
- 徐国敏赵高扬张卫华谭红邓小翠
- 关键词:铁电薄膜电滞回线原子力显微镜
- 铁电微阵列的AFM图像及电滞回线测定被引量:2
- 2006年
- 铁电阵列在红外探测器、非挥发性存储器中具有重要应用。随着大面积、微格点铁电阵列制备技术的发展,评价亚微米、甚至纳米级微小格点的铁电特性对于铁电器件的设计和制造具有重要意义。本研究将铁电仪和扫描探针显微镜相连,在扫描探针显微镜的AFM模式下,采用带有导电涂层的探针,通过扫描获得铁电阵列的三维像。据此图像,可以把探针定位于特定的微小格点上,由铁电仪通过AFM探针提供电压,并经探针悬臂梁将测试信号反馈给铁电仪,在无顶电极的情况下就可以获得微小铁电格点的电滞回线。
- 赵高扬张卫华邓小翠徐国敏赵卫
- 关键词:铁电薄膜阵列电滞回线原子力显微镜