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赵宁
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
万里兮
中国科学院微电子研究所
王惠娟
中国科学院微电子研究所
曹立强
中国科学院微电子研究所
李宝霞
中国科学院微电子研究所
李君
中国科学院微电子研究所
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作者
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赵宁
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万里兮
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王惠娟
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李宝霞
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曹立强
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钟寒梅
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施展
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李君
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2篇
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一种具有周期叠层铁电薄膜的电容及其制备方法
本发明涉及一种具有周期叠层铁电薄膜的电容及其制备方法。所述电容包括衬底,阻挡层,粘附层,下部电极,铁电薄膜和上部电极,铁电薄膜为包括至少一个周期性结构单元的叠层结构,周期性结构单元为BaTiO<Sub>3</Sub>、S...
赵宁
万里兮
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一种易于填充的沟槽电容及其制备方法
本发明涉及一种易于填充的沟槽电容及其填充方法。所述电容包括电容衬底,位于电容衬底上的多个相互连通的沟槽,位于电容衬底的表面上的下电极,位于下电极的表面上的介质层,位于介质层的表面上的上电极,以及填充于沟槽处的填充材料,填...
王惠娟
万里兮
李宝霞
赵宁
一种基于欧姆接触的铁电薄膜电容及其制备方法
本发明涉及微电子器件以及系统级封装集成技术领域,具体涉及一种基于欧姆接触的铁电薄膜电容。所述铁电薄膜电容包括:下部电极;设置于所述下部电极上的硅基底;设置于所述硅基底上的铁电薄膜电介质层;设置于所述铁电薄膜电介质层上的上...
赵宁
王惠娟
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三维混合信号芯片堆叠封装体及其制备方法
本发明公开了一种三维混合信号芯片堆叠封装体,属于半导体元器件技术领域。该芯片堆叠封装体包括一封装基板,在封装基板上堆叠固定有最内层塑封层以及至少一层外部塑封层;每层塑封层内至少塑封有一块芯片;每层塑封层将其相邻的内部塑封...
李君
赵宁
曹立强
万里兮
施展
王宇
周云燕
钟寒梅
刘术华
周静
相海飞
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一种易于填充的沟槽电容及其制备方法
本发明涉及一种易于填充的沟槽电容及其填充方法。所述电容包括电容衬底,位于电容衬底上的多个相互连通的沟槽,位于电容衬底的表面上的下电极,位于下电极的表面上的介质层,位于介质层的表面上的上电极,以及填充于沟槽处的填充材料,填...
王惠娟
万里兮
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