谭向全
- 作品数：60 被引量：42H指数：4
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺理学更多>>
- 用于红外波段测试系统的电机控温装置
- 本发明涉及一种用于红外波段测试系统的电机控温装置，属于航空航天技术领域，该电机控温装置包括导热索安装支架、导热索、测温传感器、加热片、热控仪和多层隔热组件，该电机控温装置通过导热索安装支架和导热索将电机工作时产生的热量快...
- 刘春龙郭亮张旭升胡日查韩康谭向全毛阿龙
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- 采用双读数头对绝对式钢带光栅尺的读数方法
- 采用双读数头对绝对式钢带光栅尺的读数方法，涉及光学长度测量领域，解决现有采用拼接方式实现多根钢带尺的测量范围时，在每个接合处存在误差，并采用单读数头读取数据时存在累积误差的问题，本发明将多根绝对式钢带尺顺序固定在机床的定...
- 谭向全张吉鹏孙强卢振武
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- 校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的新方法
- 校准DMD光刻系统中投影镜头焦面和相机焦面位置的新方法属于确定DMD光刻系统中投影镜头焦平面和相机的焦平面位置的校准方法领域，该方法设计了一种辅助对焦分划板，借助该新型分划板规律断续的外轮廓线边缘，可以在校准过程中快速判...
- 刘华卢振武党博石谭向全郑黎明孙强
- 一种液氨流量控制装置、控制方法及装配方法
- 本发明提供了一种液氨流量控制装置、控制方法及装配方法。本发明提供的液氨流量控制装置主要包括上下压盖、上下基座、上下密封胶圈、上下密封石墨环、内外石英玻璃管、上下阀门。本发明利用两次测量液面高度的差值来测量体积，从而控制流...
- 黄勇郭亮谭向全贾卓杭张旭升刘春龙胡日查
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- 绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统被引量：7
- 2014年
- 提出了基于数字微镜器件(DMD)的双曝光头总体结构,该结构可同时刻划母尺的周期和非周期两个光栅码道。单曝光头包含曝光光源、调焦光源、DMD和投影镜头四部分,曝光光源由激光器、准直镜组、二维微透镜阵列和场镜组成。本文利用光学软件TracePro设计该光源,实现了能量的平顶分布,在14mm×10mm的照明面上均匀性达到95%以上。利用光学软件Zemax设计了工作在双波段(曝光光源0.403～0.407μm和调焦光源0.525～0.535μm)的共焦投影镜头,采用了二向色镜和分光棱镜使其能在曝光的同时进行实时调焦,优化后的系统在曝光波段和调焦波段均达到衍射极限,最大畸变为0.009%。与传统的光栅尺刻划技术对比,设计的曝光系统具有工艺简单、制作速度快、精度高等优势,可用于长、超长计量光栅的制作。
- 刘华卢振武熊峥王尧王鹤黄剑波谭向全孙强
- 关键词：数字微镜器件计量光栅
- 热电制冷器辅助下环路热管运行特性的实验研究被引量：1
- 2019年
- 针对一种平板型蒸发器环路热管进行了实验研究,研究了制冷器功率及加热功率对热电制冷器辅助下环路热管运行特性的影响。结果表明,实验功率范围内,在无热电制冷器辅助状态下,环路热管成功启动运行,但性能较差,热阻达到1.14℃/W;外加热电制冷器后,环路热管启动时间稍有缩短,性能改善明显,热阻最低达到0.15℃/W。加热功率恒定20 W时,随制冷器功率的增加,环路热管运行温度和热阻会呈现先减小后增大的趋势;制冷器功率恒定6 W时,随加热功率的增加,环路热管运行温度随之增大,而热阻会呈现先减小后增大的趋势。另外分析温度均匀性发现平板加热面的温度可在±2℃范围内。
- 贾卓杭郭亮谭向全黄勇
- 关键词：环路热管热电制冷器运行特性
- 用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的分划板
- 用于定位DMD光刻系统中相机焦平面位置的分划板属于用于确定DMD光刻系统中相机的焦平面位置的辅助装置领域，该分划板为透明材质的平面薄板，其上端面设有反光镀膜间隔条纹，所述反光镀膜间隔条纹的宽度均相同，它们彼此平行且间距相...
- 刘华谭向全党博石郑黎明孙强卢振武
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- 一种用于具有图案的片状器件成组方法
- 本发明提供了一种用于具有图案的片状器件成组方法，所述方法包括以下步骤：将第一片状器件放置于工作台的台面上；通过CCD检测第一片状器件上的图案信息透过光学镜头所成的像，并根据所述成像信息确定位置及角度调整信息，以及通过对中...
- 谭向全吴清文张旭升王忠素郭永飞康玉思申军立姜爱民郭亮徐振邦
- 文献传递
- 一种光学系统标定设备
- 本发明提供了一种光学系统标定设备，所述设备包括自准直经纬仪、校准镜、导光臂、基座和多个光学系统；所述光学系统、校准镜安装于所述基座上，各个光学系统以校准镜所在位置为圆心、分布于相同半径的圆周位置，各个光学系统相对于基座表...
- 康玉思谭向全郭永飞吴清文张旭升王忠素姜爱民陈立恒申军立郭亮徐振邦
- 文献传递
- 紫外光刻光源设计与分析
- 2013年
- 设计了一种应用于以数字微镜为核心器件的光刻系统中的紫外光刻光源。提出了设计过程中需要注意的散热、快门、位置调节等事项,并针对性的对光源进行了详细设计。
- 谭向全
- 关键词：散热快门
