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肖锋伟

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：西北大学物理学系更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家大学生创新性实验计划更多>>
相关领域：一般工业技术理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇会议论文
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 4篇溅射
  • 4篇发光
  • 4篇磁控
  • 4篇磁控溅射
  • 3篇光致
  • 3篇光致发光
  • 2篇氮掺杂
  • 2篇氧化锌薄膜
  • 2篇溅射法
  • 2篇溅射法制备
  • 2篇光谱
  • 2篇掺杂
  • 2篇ZNO薄膜
  • 1篇氧化钛薄膜
  • 1篇直流反应磁控...
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇透射
  • 1篇透射光
  • 1篇透射光谱

机构

  • 5篇西北大学

作者

  • 5篇肖锋伟
  • 4篇郑新亮
  • 3篇江洪湖
  • 3篇姚合宝
  • 3篇李倩
  • 1篇王茜
  • 1篇崔阿娟
  • 1篇张玉萍

传媒

  • 3篇陕西省物理学...
  • 1篇西北大学学报...

年份

  • 2篇2009
  • 3篇2008
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
磁控溅射法制备氮掺杂ZnO薄膜及其光学特性研究
ZnO因其优异的光学性能及其它明显优势而被认为是GaN的潜在替代材料,在近年来日渐受到人们的广泛关注。然而,ZnO薄膜材料的p-型掺杂问题一直没有被解决。本文以N/_2作为ZnO薄膜材料的p-型掺杂剂,利用射频磁控溅射法...
肖锋伟
关键词：射频磁控溅射
文献传递
TiO2薄膜光致发光谱的研究
采用直流反应磁控溅射的方法，溅射高纯钛靶在玻璃衬底上制备了TiO2薄膜。在室温下用荧光分光光度计测量TiO2薄膜的光致发光谱。试验结果表明：在336 nm附近的发光峰是由于光诱导的电子空穴对的垂直辐射复合;在370 nm...
江洪湖肖锋伟王茜张玉萍郑新亮姚合宝
关键词：二氧化钛薄膜光致发光直流反应磁控溅射分光光度计发射光谱
文献传递
磁控溅射法制备氮掺杂的氧化锌薄膜被引量：1
2009年
目的比较氮掺杂的氧化锌薄膜与纯氧化锌薄膜的发光特性。方法用射频磁控溅射法,在玻璃衬底上通过控制氩气,氧气,氮气的流量,制备了纯氧化锌薄膜和氮掺杂的氧化锌薄膜样品。结果通过比较纯氧化锌薄膜样品和氮掺杂的氧化锌薄膜样品的发光谱,在466 nm(2.6 eV)附近发现了一个发光峰;氮掺杂的氧化锌薄膜样品的带隙比纯氧化锌薄膜样品的带隙宽。结论氮掺杂的氧化锌薄膜在466 nm左右的发光峰与氮有关;带隙变宽的原因:一个是样品中的晶粒小引起的量子限制效应,另一个是压应力引起的氧化锌晶格中的氧原子的2p轨道和锌原子的4s轨道之间斥力增大。
肖锋伟郑新亮江洪湖李倩姚合宝
关键词：磁控溅射
工作气压对氮掺杂的氧化锌薄膜结构和发光特性的影响
采用射频磁控溅射法制备了在不同工作气压下氮掺杂的Zno薄膜。 对样品的结构性能、发光特性、透射光谱分别进行了检测。研究结果显示：工作气压为0.5Pa时的样品是典型的氮掺杂的ZnO薄膜带隙，禁带中掺杂带隙引起带隙...
李倩崔阿娟肖锋伟郑新亮姚合宝
关键词：工作气压氧化锌薄膜发光特性结构性能透射光谱氮掺杂
文献传递
溅射功率对ZnO薄膜结构和发光性能的影响
在玻璃衬底上采用射频磁控溅射法，固定其他工艺参数、改变溅射功率制备了ZnO薄膜。通过对薄膜进行XRD和室温光致发光(PL)谱测量，研究了溅射功率对ZnO薄膜结构和发光性能的影响及薄膜结构与发光性能两者之间的关系。溅射功率...
肖锋伟江洪湖李倩郑新亮
关键词：磁控溅射氧化锌薄膜光致发光溅射功率发光性能
文献传递
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