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肖益波

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：信息产业部更多>>
相关领域：电子电信冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文科技成果

领域

  • 1篇冶金工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇U
  • 1篇淀积
  • 1篇烧结炉
  • 1篇气相淀积

机构

  • 2篇信息产业部

作者

  • 2篇杨琦
  • 2篇肖益波
  • 2篇刘亚红
  • 1篇范迎新
  • 1篇张军
  • 1篇任伟
  • 1篇李学文
  • 1篇杨基南
  • 1篇廖佐升
  • 1篇王萍
  • 1篇魏唯

年份

  • 2篇2002
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
M8020-1/UM型液态源化学气相淀积设备
廖佐升范迎新李学文任伟王萍刘亚红肖益波杨琦张军杨基南
本产品为M8020-1/UM型液态源化学气相淀积设备，主要技术原理是液态源经载气鼓泡或恒温蒸发汽化后，经多孔电极形成均匀的喷淋式气流，喷淋到置于下电极上的基片表面。上下电极间的气体在高频电磁场的作用下，激发辉光放电形成低...
关键词：
关键词：气相淀积
RBN14-60×60×90/UM型钟罩式氮气氛保护烧结炉
魏唯甘和明刘亚红肖益波刘杰刘金平杨琦孙军彭程
该课题属横向课题，根据用户法国著名的铁氧体制造商EPCOS公司的要求设计制造的。针对MnZn软磁铁氧体烧结工艺的特殊要求，采用如下一些技术：全纤维炉衬；硅碳棒电热方式；十点分区加热控温，温度均匀；硅碳棒预热侧孔多点进气；...
关键词：
关键词：烧结炉
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