白竹川
- 作品数：14 被引量：61H指数：5
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院科技发展基金中国工程物理研究院科学技术发展基金中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：电气工程机械工程电子电信理学更多>>
- 低驱动电压k波段电容耦合式RF MEMS开关的设计被引量：7
- 2008年
- 设计了一种低驱动电压的电容耦合式射频微机械(RF MEMS)开关。RF MEMS开关采用共面波导传输线,双电极驱动,悬空金属膜采用弹性折叠梁支撑。使用MEMS CAD软件CoventorWare、微波CAD软件HFSS,分别仿真了开关的力学性能和电磁性能,仿真结果表明:开关的驱动电压为2.5 V,满足低驱动电压的设计目标;开关开态的插入损耗约为0.23 dB@20 GHz,关态的隔离度约为18.1 dB@20 GHz。最后给出了这种RF MEMS开关的微制造工艺。
- 刘佳高杨白竹川李仁锋
- 关键词：射频开关低驱动电压仿真
- 串联式开通道直流电渗泵的设计
- 电渗泵无需可移动机械部件，其微加工工艺简单，容易与其他微器件实现单片集成，可获得很高的压力性能，压力输出连续并且无脉动，可广泛应用于高效液相色谱仪、微全分析系统、片上实验系统、微冷却系统、微量给药装置、微机械器件流体驱动...
- 白竹川
- 文献传递
- 硅基微型电渗泵三维阵列
- 本实用新型公开了一种硅基微型电渗泵三维阵列。包括单个微泵、微泵二维阵列、三维阵列的结构。二维阵列包括由硅基构组成的框体，其特征在于，在硅基上干法蚀刻技术刻蚀出的高宽比二维阵列微槽构成电渗流微通道以及进出水口。然后在玻璃盖...
- 杨涛刘婷婷梁晋涛韩宾高杨谭先吉冯月晖白竹川周玲孟凡超
- 文献传递
- 高压开关柜触头温度场的数值仿真分析被引量：22
- 2008年
- 为验证光纤温度传感器用于高压开关柜触头温度检测的可行性,调研了高压开关柜触头的几何结构,利用多物理场耦合分析软件COMSOL Multiphysics,结合传热学相关理论进行了触头的温度场数值仿真分析。计算了额定电流和短路电流2种情况下的触头温度分布情况,结果表明:触指为触头温度检测的最佳位置;短路电流通过时,触头温度最高可达564℃。在此基础上,在安装、量程、应变干扰三方面对光纤温度传感器进行了分析,证实光纤温度传感器可用于触头温度的检测。
- 周岩高杨刘婷婷陈营端白竹川
- 关键词：高压开关柜触头光纤温度传感器数值仿真
- 折叠梁平面角对电容式RF MEMS开关性能的影响被引量：1
- 2009年
- 低驱动电压电容式RF MEMS开关采用弹性拆叠梁支撑可变电容活动极板,使开关弹性结构具有很小的弹性系数,但也降低了开关的一阶模态谐振频率,致使开关无法获得较高的开关速度。提出了通过调整弹性折叠梁平面角微调弹性结构弹性系数的方法,在保证开关具有低驱动电压的同时,尽可能提高弹性结构的一阶模态谐振频率。仅改变弹性折叠梁平面角的大小,对其分别为0°,45°,90°的具体开关结构,应用MEMS CAD软件CoventorWare进行机电耦合仿真,定性分析了弹性折叠梁平面角对微结构弹性系数的影响。仿真结果表明:改变弹性折叠梁平面角大小,可以微调电容式RF MEMS开关的驱动电压和一阶模态谐振频率。
- 白竹川高杨刘婷婷陈营端
- 关键词：射频MEMS开关平面角
- 高压开关柜的三维电磁场数值仿真被引量：16
- 2009年
- 导电触点过热是高压开关柜主要的失效模式,迫切需要低成本的实时、原位、在线触点温度监测装置作为早期失效预警系统,以确保此类高压大电流电气设备的可靠运行。设计触点温度监测装置,必须首先明确高压开关柜内的电磁场环境。以KYN28-12(Z)型高压开关柜为例,应用多物理场耦合仿真软件COMSOL Multiphysics的AC/DC模块,建立高压开关柜的三维电磁场数值仿真模型,采用准静态电磁场求解方法,计算得到了相线加载电压为12kV@50Hz的标准工况下开关柜内电磁场强度的分布:矩形铜制相线角部的电场和磁场强度最大,相线间的电场和磁场强度稍小。
- 高杨周岩刘婷婷陈营端白竹川
- 关键词：高压开关柜三维电磁场数值仿真
- 低驱动电压电容式RF MEMS开关结构设计优化被引量：8
- 2009年
- RFMEMS开关将成为微波、高频信号控制的关键器件。针对其驱动电压过高,不能满足现代通信系统低电压的要求,推导了电容式RFMEMS开关驱动电压的理论公式;基于降低开关柔顺结构的弹性系数、驱动电极上极板与可变电容上极板分离的思路,优化设计了三种具有不同的连接梁和支撑梁结构形式的开关微桥柔顺结构。第一种结构为驱动电极板和电容上极板之间以双直梁连接;第二种结构以一组弹性折叠梁代替结构一中的双直梁;第三种结构是在结构二的基础上,改变了起支撑作用的弹性折叠梁的方向。使用MEMS CAD软件CoventorWare对开关结构进行了机电耦合仿真,仿真结果表明开关的驱动电压小于3V。
- 高杨刘佳白竹川刘婷婷陈营端
- 关键词：微电子机械系统射频微电子机械系统开关
- 金刚石薄膜上的高频高功率声表面波滤波器
- 2011年
- 设计了一种Si基金刚石薄膜上的SAW RF MEMS滤波器,其中心频率为400MHz,叉指换能器(IDT)线宽为5μm。采用中物超硬材料公司定制的硅基金刚石薄膜基片,利用射频溅射方法在金刚石薄膜上制备了厚度为2μm的ZnO压电薄膜,XRD分析证明其具有良好的C轴取向。采用剥离工艺制备IDT,通过精细的工艺控制,得到了设计的IDT图形。最后,对该滤波器样品进行了封装和测试。测试结果表明,其中心频率为378MHz,插损为15.9dB。
- 高杨陈营端白竹川席仕伟郑英彬
- 关键词：声表面波金刚石薄膜压电薄膜叉指换能器
- USB接口设备网络化的集中监管装置及监管方法
- 本发明提供了一种USB接口设备网络化的集中监管装置及监管方法。本发明基于网络客户端/服务器模型，采用Cyan公司的MCU芯片实现具有网络客户端功能的嵌入式USB接口设备存放装置，采用Winsock编程技术在监控中心上实现...
- 高杨李俊艳白竹川王强陈营端
- 文献传递
- 声表面波谐振器传播状态的ANSYS仿真被引量：3
- 2009年
- 为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真。在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真结果精度的影响,得出了在每个SAW波长尺寸内划分30～40个网格可以得到较精确的仿真结果。对不同长度声孔径的声表面波谐振器进行了仿真分析,得出了声表面波只在固体表面1～2个波长深度范围内传播的仿真效果图,与理论分析有很好的一致性。最后对IDT/ZnO/金刚石/Si结构的声表面波器件进行了仿真,得出该结构声表面波器件SAW传播速度与ZnO的厚度成反比,其大小是IDT/ZnO结构器件SAW传播速度的2～3倍。
- 陈营端高杨白竹川刘婷婷
- 关键词：MEMSANSYS软件
