白亦真
- 作品数：55 被引量：120H指数：5
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- 相关领域：理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>
- 高掺硼多晶金刚石薄膜的XPS分析
- 采用热丝辅助化学气相沉积法(HFCVD),以N型(100)单晶高阻si片为衬底,制备了不同掺硼浓度的金刚石薄膜。采用四探针法测试了薄膜的电阻率,结果表明,硼碳原子比B/C<10000ppm时,电阻率随着掺硼浓度急剧下降;...
- 屈芳白亦真姜辛
- 沉积高品质金刚石薄膜的MWPCVD系统被引量：2
- 1995年
- 建立了用于沉积高品质金刚石薄膜的微波等离子体化学气相沉积系统，并对该系统的工作性能进行了研究．
- 白亦真吕宪义金曾孙王春蕾邹广田
- 关键词：金刚石微波等离子体化学气相沉积
- AlMgB_(14)三元超硬硼化物的实验制备与理论研究被引量：5
- 2011年
- 三元硼化物AlMgB14材料具有高硬度,高韧性,低密度,低摩擦系数以及抗高温氧化腐蚀等众多优异性能,在工具、模具、微机械制造及航空航天关键零部件等领域具有重要的应用前景.本文采用多靶射频磁控共溅射技术,以高纯度Al（99.99%）,Mg（99.95%）,B（99.9%）材料为溅射靶源,在单晶Si（100）衬底上溅射沉积得到了表面均匀致密,不同化学组分的Al-Mg-B三元非晶态薄膜,通过调控溅射参数,可以实现原子比接近Al：Mg：B=1：1：14.对于所制备的薄膜样品,在三元相图上沿Al-Mg等含量线,Al-Mg-B材料的硬度,随着B元素含量增加由13GPa增大到32GPa,其中AlMgB14附近成分点的硬度达到25~32GPa.同时,采用第一性原理计算,得到AlMgB14晶体的维氏硬度为27.6GPa,与实验值接近.通过电子结构分析,我们进一步探讨了AlMgB14晶体和其他相似结构富B三元化合物硬度的起源,发现他们共同具有的B12二十面体骨架是决定硬度的主要因素.Al,Mg等金属元素主要通过向B12的电荷转移对材料硬度进行微调,Al-B之间形成了弱的共价键而Mg-B之间形成离子键,这点同时也为XPS实验谱图所证实.采用准简谐近似德拜模型,我们还研究了AlMgB14晶体的热学性质以及温度对体弹性模量的影响,发现体模量随温度增加明显的减小,同实验上提高衬底温度对硬度的增强呈现了相反的变化趋势.这从侧面说明了衬底温度提高导致的硬度增强并不是改变了材料的本征硬度,而可能由于加强了薄膜同衬底间附着力.
- 蒋雪曲文超赵纪军吴爱民白亦真姜辛
- 关键词：磁控溅射超硬材料力学性能热力学性能
- 快速沉积的金刚石薄膜生长特性
- 1991年
- 本文研究了用直流电弧等离子体喷射法快速沉积的金刚石薄膜的生长特性,并与用热解CVD法沉积的金刚石薄膜生长特性做了比较。
- 白亦真吕宪义金曾孙邹广田
- 关键词：金刚石
- 金刚石厚膜热沉基板的金属化工艺
- 本发明属金刚石厚膜热沉基板的金属化工艺、采用MnO<Sub>2</Sub>、Ni、Au三种浆料、顺序分三次丝网印刷在金刚石厚膜生长面上，每次印刷后都在400～550℃温度下预烧5～20分钟，最后在真空度10<Sup>-2...
- 王佳宇陈宏宇吕宪义白亦真金曾孙
- 文献传递
- 自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究被引量：1
- 2006年
- ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了表征.结果表明得到的ZnO薄膜取向一致,表面较均匀,光学质量良好.
- 孙剑杨天鹏白亦真徐艺滨王新胜杜国同
- 关键词：声表面波滤波器金刚石ZNO薄膜
- 镀金金属衬底上的氮化铝镓铟/二硫化钼钨膜及制备方法
- 本发明属于Ⅲ族氮化物薄膜和器件制造领域，提供了一种镀金金属衬底上的氮化铝镓铟/二硫化钼钨膜及制备方法。具体是以金属为衬底，先使用磁控溅射方法在金属衬底上制备金层，再使用电子回旋共振‑等离子体增强金属有机物化学气相沉积EC...
- 秦福文马春雨白亦真王德君林国强
- 文献传递
- 气压和偏流对高掺硼金刚石晶体性质的影响(英文)被引量：1
- 2010年
- 采用热丝化学气相沉积法,改变工作气压和偏流,在硅基片上沉积了高掺硼金刚石膜。利用扫描电镜(SEM)、拉曼光谱和X射线衍射仪对沉积的金刚石膜表面形貌和结构进行表征。结果显示:当气体压强从3kPa降低到1.5kPa时,金刚石膜有较平的表面形貌和和较好的晶形,薄膜的晶体性质得到良好的改善。但是继续降气体压强,从1.5kPa到0.5kPa时,却呈现出相反的趋势。固定气体压强(1.5kPa),改变偏流,结果表明:适当的偏流(3A)可以改善掺硼金刚石的质量,偏流较高会导致薄膜中非金刚石相增多。
- 贾福超白亦真屈芳孙剑赵纪军姜辛
- 关键词：气体压强偏流扫描电镜X射线衍射仪拉曼光谱
- 直流电弧等离子体射流法沉积金刚石薄膜被引量：2
- 1991年
- 金刚石以其卓越的理化性能而受到人们普遍重视。近年来兴起的低压气相合成法,为金刚石在各领域中的更广泛应用提供了光明的前景。但诸多种低压合成法的不足之处在于金刚石的沉积速率还比较低,在某种程度上限制了它的应用范围。直到80年代末,才在日本出现了一种高速沉积金刚石薄膜的方法,就是直流电弧等离子体射流方法,其沉积速率比其它低压法要高几倍到几十倍。
- 白亦真吕宪义金曾孙邹广田
- 关键词：金刚石薄膜直流电弧等离子体射流
- 甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用被引量：5
- 2002年
- 采用热阴极 DC-PCVD方法制备了金刚石膜 ,研究了甲醇对放电状态和金刚石膜生长特性的影响 .结果表明 ,通入适量的甲醇有利于稳定辉光放电状态 ,保持阴极清洁 ,提高膜的生长质量 .
- 姜志刚金曾孙白亦真曹培江张露杨广亮李俊杰吕宪义
- 关键词：甲醇辉光放电金刚石膜
