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甘景田
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2
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供职机构:
中国空气动力研究与发展中心
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相关领域:
理学
交通运输工程
建筑科学
自动化与计算机技术
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合作作者
汤世友
中国空气动力研究与发展中心
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2篇
电容式加速度...
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速度传感器
2篇
加速度
2篇
加速度传感器
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加速度计
2篇
分辨率
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高分辨率
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MEMS技术
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传感
2篇
传感器
机构
2篇
中国空气动力...
作者
2篇
汤世友
2篇
甘景田
传媒
1篇
中国空气动力...
年份
2篇
2003
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一种基于MEMS技术的可自检、高分辨率电容式加速度传感器设计
本文简要介绍了一种基于MEMS技术设计制作的,具有零频、高分辨率和自检功能的高精度电容式加速度传感器.该传感器采用差动电容作为敏感元件,用闭环反馈力平衡技术和完整的信号调理电路构成闭环随动式加速度计.它可以用于桥梁及地震...
汤世友
甘景田
关键词:
MEMS技术
电容式加速度计
文献传递
一种基于MEMS技术的可自检、高分辨率电容式加速度传感器设计
本文简要介绍了一种基于MEMS技术设计制作的,具有零频、高分辨率和自检功能的高精度电容式加速度传感器。该传感器采用差动电容作为敏感元件,用闭环反馈力平衡技术和完整的信号调理电路构成闭环随动式加速度计。它可以用于桥梁及地震...
汤世友
甘景田
关键词:
MEMS技术
电容式加速度计
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