沈涛
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：山东理工大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 高纯石英管真空封结装置
- 本实用新型提供一种高纯石英管真空封结装置，包括喷枪，其特征在于：喷枪有三条，增设上端敞口的箱体状支架、喷枪固定板、多根导轨、管托和托架；其中多根导轨水平贯穿固定在箱体状支架相向的两侧壁上；托架的底部套装在位于下方的导轨上...
- 刘俊成翟慎秋沈涛王友林
- 文献传递
- 高纯石英管真空封结装置
- 本发明提供一种高纯石英管真空封结装置，包括喷枪，其特征在于：喷枪有三条，增设上端敞口的箱体状支架、喷枪固定板、多根导轨、管托和托架；其中多根导轨水平贯穿固定在箱体状支架相向的两侧壁上；托架的底部套装在位于下方的导轨上，其...
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- 高纯石英管真空封结装置
- 本发明提供一种高纯石英管真空封结装置，包括喷枪，其特征在于：喷枪有三条，增设上端敞口的箱体状支架、喷枪固定板、多根导轨、管托和托架；其中多根导轨水平贯穿固定在箱体状支架相向的两侧壁上；托架的底部套装在位于下方的导轨上，其...
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- 晶体生长用石英玻璃管镀膜工艺的正交实验研究被引量：3
- 2009年
- 运用正交设计,对CdZnTe晶体生长用高纯石英坩埚内壁镀膜过程中的镀膜温度、镀膜时间、气体流量、冷却时间四个因素进行了研究和优化。用金相显微镜,扫描电镜观察分析了不同镀膜工艺条件下得到的碳膜表面形貌,用WS-2005自动划痕仪对碳膜与石英管壁之间的结合力进行了测试。实验结果表明,镀膜温度对碳膜质量影响最为显著,其次是镀膜时间,再次为冷却时间,而气体流量对碳膜质量的影响甚小。镀膜工艺的优化参数:镀膜温度为1010℃,气体流量为6 L/h,镀膜时间为4 h,冷却时间为18 h。该工艺参数得到的碳膜较为均匀,且与石英管壁结合强度高。
- 沈涛刘俊成翟慎秋张国栋
- 关键词：正交设计碳膜CDZNTE晶体生长
