李绍杰
- 作品数：9 被引量：70H指数：7
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- 相关领域：金属学及工艺化学工程机械工程更多>>
- 树脂结合剂金刚石锯丝的研制
- 在硬脆材料(特别是硅晶体)切割工艺中，固结磨料金刚石线锯切片技术因其高效率、低损耗、无污染等优势得以广泛应用。树脂结合剂金刚石锯丝制作成本低、切片质量好，有望在硬脆材料切割领域推广应用。本论文对树脂结合剂金刚石锯丝的制作...
- 李绍杰
- 关键词：树脂结合剂锯切加工
- 文献传递
- 切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响被引量：10
- 2008年
- 选择4种切削液进行了电镀金刚石线锯切割单晶硅片的试验,研究了不同种类切削液对硅片的表面形貌、表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的影响,分析了切削液对线锯切片过程的作用机理。研究结果表明,合成液对提高硅片的表面形貌质量,降低硅片的表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的综合效果最好。
- 高玉飞葛培琪李绍杰侯志坚
- 关键词：金刚石线锯单晶硅片切片切削液
- 环形树脂结合剂金刚石线锯研制被引量：9
- 2008年
- 固结磨料线锯切割相当于磨削加工,切割表面损伤层浅,因而锯切表面质量更高。电镀金刚石锯丝已经在工程实际中获得一定应用,但制造成本较高。而树脂结合剂锯丝成本则非常低。本文用1Cr18Ni9不锈钢丝作为环形锯丝的基体材料,其焊接接头可承受最大拉力110 N,疲劳寿命超过1.2×105次。不锈钢丝经表面处理后,直接刷涂树脂金刚石磨料混合物,再经过干燥及烘烤工序制成树脂结合剂金刚石线锯丝。涂层中树脂占35%、金刚石磨料(平均直径20μm)占50%、纳米铜粉占15%。用该锯丝切割硅晶体,切割速度4 m/s,恒力驱动进给。检测证明:切割表面平整,表面粗度达Ra0.8μm。原因是树脂结合剂弹性较好,能有效地减小切割系统的振动,但其切削效率、使用寿命方面不如电镀金刚石线锯高。
- 侯志坚葛培琪张进生李绍杰
- 关键词：树脂结合剂金刚石线锯硅晶体
- 环形锯丝线锯床
- 本实用新型涉及一种环形锯丝线锯床，主要有底座、水盘、电机、工作台、锯丝、导轮和机体组成，水盘设在底座上，机体安装在水盘上，在机体的侧面上安装有呈三角形状分布的三个导轮，环形无缝锯丝绕在三个导轮的外面，与导轮在机体同一侧面...
- 侯志坚葛培琪高玉飞李绍杰
- 文献传递
- 利用金刚石线锯切割硅晶体的实验研究被引量：11
- 2007年
- 本文综述了脆性材料的塑性转变理论、脆性材料塑性加工研究进展情况,进行了环形金刚石线锯丝切割硅晶体的实验。锯丝单方向连续运动,因而可以提高切割速度,锯丝运动速度为10 m/s和21 m/s两种。工件进给速度分别为8.4 mm/min,12.6 mm/min和20 mm/min等三种。用扫描电镜检测切割表面并与往复式线锯切割表面进行比较。实验结果及理论分析表明:锯丝上单个磨粒切削深度极小,切割表面平整、无崩碎现象,表面粗糙度值达1.4μm^3μm,接近粗磨加工后的表面。进给速度增大,表面粗糙度有所增大;切削速度提高,表面粗糙度降低不明显,这与理论分析不一致,其原因是工艺系统振动、冲击所致。锯丝磨损、磨料脱落是降低切割表面质量的另一原因。
- 侯志坚葛培琪张进生李绍杰高玉飞
- 关键词：硅晶体粗糙度
- 用复合电镀法制造电镀金刚石锯丝的实验研究被引量：10
- 2007年
- 固结磨料金刚石线锯切割技术有望在将来广泛地应用于硅晶体等硬脆材料的切割,而高性能的固结磨料金刚石锯丝的研制是此技术发展应用的关键。本文选用以瓦特液为基础的光亮镍镀液,采用复合电镀法试制了电镀金刚石锯丝,制定了锯丝的电镀工艺,分析了上砂电流密度和上砂时间对锯丝表面金刚石磨粒密度和镀层与基体间结合力的影响。结果表明,获得表面磨粒分布均匀、结合力良好的电镀金刚石锯丝的最佳电流密度范围为1.5 A/dm2~2.0 A/dm2,其预镀、上砂与加厚镀时间依次为6 min、8 min^10 min和18 min。
- 高玉飞葛培琪李绍杰侯志坚
- 关键词：复合电镀硅晶体
- 单晶硅线锯切片亚表层损伤层厚度预测与测量被引量：11
- 2009年
- 将线锯加工中磨粒的切削作用过程近似为受法向力与切向力作用的压头移动过程,基于压痕断裂力学理论,综合考虑磨粒下方弹性应力场与残余应力场对中位裂纹扩展的影响,给出了中位裂纹扩展长度的计算公式。将中位裂纹扩展层深度视为亚表层损伤层厚度dSSD,将磨粒下方横向裂纹产生深度视为锯切后表面的表面粗糙度值Rz,从而建立了亚表层损伤层厚度与表面粗糙度值之间的理论模型,用于预测损伤层厚度;使用扫描电子显微镜(SEM),采用截面显微法对硅片的亚表层裂纹层厚度进行了实验检测。结果表明,实验检测结果与理论预测结果较为接近,采用该理论模型能够快速、简便和准确地预测亚表面损伤层厚度。
- 高玉飞葛培琪李绍杰侯志坚
- 关键词：线锯单晶硅表面粗糙度裂缝
- 电镀金刚石线锯制造及切割技术研究被引量：5
- 2007年
- 介绍了几种电镀金刚石线锯的制造方法,并介绍了往复式和环形两种金刚石线锯切片方法的原理。对锯切硅片时各工艺参数对切片表面质量的影响规律进行了理论研究。适当提高锯丝的张紧力,在一定的变化范围内,采用高的锯丝速度和低的进给速度,可以获得好的切片表面质量。
- 高玉飞葛培琪侯志坚李绍杰
- 关键词：金刚石线锯单晶硅
- 往复式电镀金刚石线锯切割单晶硅片特性研究被引量：21
- 2009年
- 通过往复式电镀金刚石线锯切割单晶硅片实验,分析了切片表面的微观形貌特点,研究了锯丝速度与进给速度对硅片的表面粗糙度、总厚度偏差(TTV)、翘曲度与亚表面损伤层厚度(SSD)的影响规律。结果表明:线锯锯切时材料以脆性模式去除,锯切表面的微观形貌呈现部分沟槽与断续划痕,并存在大量凹坑;锯丝速度增大,进给速度减小,表面粗糙度与SSD减小;锯丝速度增大,进给速度增大,硅片的翘曲度也随之增大;硅片TTV值与锯丝速度和进给速度的匹配关系相关。
- 高玉飞葛培琪李绍杰
- 关键词：金刚石线锯单晶硅晶片
