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朱忠益

作品数:2 被引量:1H指数:1
供职机构:浙江大学更多>>
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相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 2篇电容检测
  • 2篇微机械加速度...
  • 2篇加速度
  • 2篇加速度计
  • 1篇噪声
  • 1篇噪声分析
  • 1篇数字式
  • 1篇微机电系统
  • 1篇温度补偿
  • 1篇机电系统
  • 1篇寄生电容
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇浙江大学

作者

  • 2篇朱忠益
  • 1篇金仲和
  • 1篇刘义冬

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 2篇2013
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
小型化高精度数字式微机械加速度计的设计与实现
近年来高精度电容式微机械加速度计成为微机械领域的研究热点,成果也层出不穷。本论文旨在设计一款小型化高精度的数字式三轴加速度计,以满足导航、航空航天等高端领域的应用需求。   论文首先调研了电容式微机械加速度计的研究进展...
朱忠益
关键词:微机电系统加速度计电容检测温度补偿
文献传递
微机械加速度计中的寄生电容对噪声的影响
2013年
主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响,建立敏感元件的电磁仿真模型,进行噪声公式的推导,并得到了实验验证。通过仿真分析发现,铝电极下的玻璃衬底是增大该寄生电容的主要因素。实验结果表明,该寄生电容会增加60%以上的系统噪声。
朱忠益刘义冬金仲和
关键词:寄生电容噪声分析电容检测
共1页<1>
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