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朱忠益
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
浙江大学
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发文基金:
中央高校基本科研业务费专项资金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
刘义冬
浙江大学
金仲和
浙江大学
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浙江大学
作者
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朱忠益
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金仲和
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刘义冬
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传感技术学报
年份
2篇
2013
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2
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小型化高精度数字式微机械加速度计的设计与实现
近年来高精度电容式微机械加速度计成为微机械领域的研究热点,成果也层出不穷。本论文旨在设计一款小型化高精度的数字式三轴加速度计,以满足导航、航空航天等高端领域的应用需求。 论文首先调研了电容式微机械加速度计的研究进展...
朱忠益
关键词:
微机电系统
加速度计
电容检测
温度补偿
文献传递
微机械加速度计中的寄生电容对噪声的影响
2013年
主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响,建立敏感元件的电磁仿真模型,进行噪声公式的推导,并得到了实验验证。通过仿真分析发现,铝电极下的玻璃衬底是增大该寄生电容的主要因素。实验结果表明,该寄生电容会增加60%以上的系统噪声。
朱忠益
刘义冬
金仲和
关键词:
寄生电容
噪声分析
电容检测
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