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戚树明
作品数:
3
被引量:7
H指数:1
供职机构:
山东师范大学物理与电子科学学院
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发文基金:
国家自然科学基金
山东省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
机械工程
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合作作者
满宝元
山东师范大学物理与电子科学学院
郭娟
山东师范大学物理与电子科学学院
周新玲
山东师范大学物理与电子科学学院
王娟
山东师范大学物理与电子科学学院
陈传松
山东师范大学物理与电子科学学院
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机构
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山东师范大学
作者
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戚树明
2篇
陈传松
2篇
王娟
2篇
周新玲
2篇
郭娟
2篇
满宝元
传媒
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激光杂志
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量子光学学报
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2009
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2008
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准分子激光辐照HgCdTe半导体材料的损伤机理研究
被引量:6
2009年
利用光学显微镜和扫描电子显微镜对248 nm准分子脉冲强激光辐照的HgCdTe晶片表面进行了观察,观察到一些与红外波段内激光辐照HgCdTe晶片时大不相同的实验现象。研究表明,红外波段内1 064nm激光辐照HgCdTe半导体材料的损伤机制主要为光热作用,而紫外波段248 nm准分子激光对HgCdTe材料的损伤机制既包含光化学作用也包含光热作用。分析了准分子激光对晶体的机械破坏现象,同时对HgCdTe材料在激光辐照区的条纹产生机理进行了探讨,发现激光驱动声波理论模型比光学模型和热导波模型能更好地解释HgCdTe晶体表面的条纹现象。
戚树明
陈传松
周新玲
郭娟
王娟
满宝元
关键词:
HGCDTE
不同波长脉冲激光与半导体材料HgCdTe和Si相互作用研究
激光与物质相互作用一直是人们非常感兴趣的课题。近几十年来,激光技术迅猛发展,现在已经渗透进自然科学的各个领域,加快了科学研究的步伐。而在科学研究过程中发现的各种新现象新内容,又极大地促进了激光技术的发展。激光与物质相互作...
戚树明
关键词:
脉冲激光
半导体材料
准分子激光
文献传递
准分子激光对半导体材料HgCdTe和Si的损伤实验研究
被引量:1
2008年
本文利用光学显微镜和扫描电镜对248nm准分子强激光辐照HgCdTe和Si晶片的表面损伤形貌和损伤过程进行了对比分析,结果表明在248nm准分子激光作用下,HgCdTe材料主要表现为解离剥蚀破坏和熔融烧蚀破坏,准分子激光对其损伤机理既包含光化学作用也包含光热作用;而Si材料则主要表现为熔融烧蚀破坏,准分子激光对其损伤机理主要为光热作用。
戚树明
陈传松
郭娟
周新玲
王娟
满宝元
关键词:
光热作用
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