徐茂春
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
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- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 大气压脉冲调制微波等离子体发生装置
- 一种大气压脉冲调制微波等离子体发生装置，属于微波等离子体技术领域。其特征是微波经波导管(1)传输到梯形波导转换装置(2)的矩形波导端建立TE<Sub>10</Sub>模，短路端口为活动的金属匹配挡板(3)，在矩形波导端的...
- 李寿哲徐茂春
- 文献传递
- 常压氩/氮射频容性放电冷等离子体的发射光谱诊断被引量：2
- 2011年
- 实验中在大气压下在射频(13.56MHz)容性耦合的平板形金属电极的构型中实现了氩/氮射频α模式的辉光放电。首先,采用发射光谱的方法测量了氮分子(C3Πu)谱线随氮气含量的变化;其次,使用玻耳兹曼斜率法估算了OH谱带(A2Σ+→X 2Π)的转动温度,并得到等离子体温度随输入功率的变化规律。最后,选取氮的第二正带(C3Πu→B3Πg)的三组顺序带组对分子的振动温度进行了研究。实验结果表明:随着氮气流量的增加,氮分子谱线强度值先增加后减小,并在氮气流量为80mL.min-1附近达到极大值;气体温度随着输入功率的增加而增加,当输入功率从30W增加到210W时,对应的气体温度从342K增加到523K;随着掺入氮气的流量从30mL.min-1增加到140mL.min-1时,振动温度保持在1 800K值附近基本上不受影响。
- 李寿哲武启徐茂春李宏王永兴
- 关键词：转动温度振动温度
- 双气流稳定的大气压微波等离子体炬及其应用研究
- 近些年,大气压(AP)微波等离子体引起了越来越多学者的关注,大气压微波等离子体被广泛的应用于材料表面处理(薄膜沉积、渗氮、刻蚀),光源,材料制造和化学光谱分析等。在本论文中,我们对两种微波等离子体放电进行了研究,分别是：...
- 徐茂春
- 关键词：微波等离子体炬大气压表面波
- 文献传递
