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强宇
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中国电子科技集团第十一研究所
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合作作者
刘铭
中国电子科技集团第十一研究所
王经纬
中国电子科技集团第十一研究所
王丛
中国电子科技集团第十一研究所
高达
中国电子科技集团第十一研究所
巩锋
中国电子科技集团第十一研究所
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Si基中/长波叠层双色碲镉汞材料及其制备方法
本发明公开了一种Si基中/长波叠层双色碲镉汞材料及其制备方法。该方法包括:进行外延级Si衬底清洗,去掉Si衬底的自然氧化层,形成人为氧化层;对Si衬底进行氧化层去除,并进行As钝化;采用迁移增强MME的方式生长ZnTe缓...
王经纬
巩锋
王丛
刘铭
强宇
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一种硅基短/中波叠层双色碲镉汞材料及其制备方法
本发明涉及一种硅基短/中波叠层双色碲镉汞材料及其制备方法。本发明的硅基短/中波叠层双色碲镉汞材料,包括:硅基复合衬底,以及在所述硅基复合衬底上由下到上依次排列的碲镉汞短波吸收层、碲镉汞阻挡层和碲镉汞中波吸收层,所述碲镉汞...
王经纬
高达
王丛
刘铭
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一种硅基复合衬底的外延方法
本发明公开了一种硅基复合衬底的外延方法,具体包括以下步骤:在硅片上外延碲化镉形成硅基复合衬底;在分子束外延系统的腔室中,在碲束流的保护下,对硅基复合衬底进行高低温退火,高低温退火包括升温过程和降温过程。借助于本发明的技术...
王丛
刘铭
王经纬
高达
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Si基中/长波叠层双色碲镉汞材料及其制备方法
本发明公开了一种Si基中/长波叠层双色碲镉汞材料及其制备方法。该方法包括:进行外延级Si衬底清洗,去掉Si衬底的自然氧化层,形成人为氧化层;对Si衬底进行氧化层去除,并进行As钝化;采用迁移增强MME的方式生长ZnTe缓...
王经纬
巩锋
王丛
刘铭
强宇
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分子束外延用氮化硼坩埚清洗方法
本发明公开了一种分子束外延用氮化硼坩埚清洗方法。所述方法包括:确定坩埚在使用时所盛装的原料,依据盛装的原料对所述坩埚进行预处理,获得预处理后的坩埚;对所述预处理后的坩埚依次进行腐蚀清洗处理、煮沸处理和干燥处理,获得清洁的...
周朋
刘铭
强宇
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一种硅基短/中波叠层双色碲镉汞材料
本实用新型涉及一种硅基短/中波叠层双色碲镉汞材料及其制备方法。本实用新型的硅基短/中波叠层双色碲镉汞材料,包括:硅基复合衬底,以及在所述硅基复合衬底上由下到上依次排列的碲镉汞短波吸收层、碲镉汞阻挡层和碲镉汞中波吸收层,所...
王经纬
高达
王丛
刘铭
强宇
周立庆
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Si基中/长波叠层双色碲镉汞材料
本实用新型公开了一种Si基中/长波叠层双色碲镉汞材料。Si基中/长波叠层双色碲镉汞材料由下到上依次包括:晶向为211的Si衬底、在Si衬底的表面上依次生长的砷As钝化层、碲化锌ZnTe缓冲层、碲化镉CdTe缓冲层、以及三...
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