张胜基
- 作品数：13 被引量：12H指数：2
- 供职机构：北京师范大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：核科学技术金属学及工艺理学机械工程更多>>
- 50型MEVVA源离子注入机被引量：8
- 2002年
- 详细介绍了 5 0型强束流、大束斑MEVVA源注入机的结构和各项性能 .5 0型MEVVA源注入机是北京师范大学低能核物理研究所于九五期间承担的“八六三”计划项目“先进离子束注入技术的工业应用”所取得的成果 。
- 吴先映李强张胜基张孝吉张荟星
- 关键词：离子注入机材料表面改性电源
- 多离子源强流注入机
- 一种多离子源强流离子注入装置，可以安装两个或两个以上金属蒸汽真空弧离子源或气体离子源，并以多工作模式进行注入，即产生至少一种元素的离子束，由人工或计算机控制，按一定的程序，改变离子束的能量、强度、注入时间和顺序，在工件表...
- 张荟星张胜基李强周凤生张孝吉韩主恩
- 文献传递
- 视线外磁过滤金属蒸气真空弧等离子体沉积源
- 一种视线外磁过滤金属蒸汽真空弧等离子体沉积源，采用磁过滤方法传输真空弧产生的等离子体到视线外的真空室中，从而消除液滴或颗粒到达处理工件导致镀层缺陷。为了得到高质量的沉积薄膜，过滤器管道内壁有特殊的凹槽设计以防止液滴或颗粒...
- 吴先映李强张荟星张胜基张孝吉
- 文献传递
- 强束流大束斑金属蒸气真空弧离子源
- 一种强束流大束斑金属蒸气真空弧离子源，采用凸形引出电透镜，引出电极的曲率和透射率横向逐渐增大，并采用大的阳极孔配合聚焦磁场。强制增加离子束横向发散以便在较小的距离同时获得较为均匀的强束流和大束斑。
- 吴先映李强张胜基张荟星张孝吉
- 文献传递
- Mevva源离子注入机大批量注入均匀性研究
- Mevva离子源具有束流强、离子种类多、引出电压高以及多孔大面积引出的特点,Mevva强流金属离子注入被誉为新一代的离子注入技术.本文简介了Mevva ⅡA-H源离子注入机研究了几种不同情况下的注入均匀性.
- 吴先映张孝吉张荟星张胜基李强
- 关键词：离子注入离子注入机
- 文献传递
- 大束斑强流金属离子源
- 1992年
- 介绍了新研制成的 MEVVA-Ⅱ和 MEVVA-ⅡA 离子源的结构特点和某些实验结果.新源采用大面积引出,引出直径60mm.该源脉冲工作,最大束流占空比为6%,已引出 Mg,Al,Ti,V,Cr,Fe,Ni,Cu,Zn,Y,Zr,Mo,Nb,Sn,W 和 Pb 等金属元素的离子,平均束流强度在10mA 以上,最大平均束流强度已超过20mA.MEVVA-ⅡA 源还采用了可推进的阴极结构,使阴极寿命大大提高,在引出平均束流10mA(Ti)条件下,已连续稳定运行16h.
- 张孝吉张荟星周凤生张胜基李强韩主恩
- 关键词：离子源真空弧放电
- 长寿命金属蒸汽真空弧离子源
- 一种金属蒸汽真空弧离子源的新型阴极结构，触发电极的端面低于阴极和绝缘套的端面，绝缘套经过导电化处理，降低了触发电压，减少了金属蒸汽对绝缘套的污染，提高了触发次数和离子源工作的稳定性。由于采用了推进式阴极，使单个阴极的寿命...
- 张荟星张孝吉周凤生张胜基李强韩主恩
- 文献传递
- 金属蒸汽真空弧离子源
- 张孝吉周凤生张胜基张荟星
- 金属蒸汽真空弧离子源(简称 MEVVA源)，采用真空弧放电原理，由阴极表面直接生强金属等离子体，经引出产生强金属离子束。该源具有产生金属离子种类多、束流强、电荷态高、束流纯、束斑大等突出优点。采用 MEVVA源的金属离子...
- 关键词：
- 关键词：强流离子注入机金属离子
- 强流金属离子源
- 很多离子源都能产生金属离子束,但能够产生强流金属离子束的离子源并不多,特别要产生难熔金属离子束更是极其困难.为了发展材料表面改性技术和其它应用的需要,近年来已经研制成几种强流金属离子源,例如微波离子源,强流脉冲真空弧离子...
- 张荟星张胜基李强周风生张孝吉韩主恩
- 文献传递
- MEVVA离子源凸形引出电极的研制被引量：1
- 2006年
- 介绍了金属蒸气真空弧(Metal vapor vacuum arc,MEVVA)离子源的凸形引出电极的研制。研究表明, 凸形引出电极可以完成离子束的强制发散功能,从而在较短的引出距离和较小的引出电极面积的条件下得到大的束斑和均匀可应用的束流分布。通过对几种不同的电极结构的比较研究,得到了满足应用要求的凸形引出电极。
- 吴先映张孝吉李强张胜基张荟星刘安东
- 关键词：引出电极
