庞程
- 作品数：13 被引量：13H指数：3
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>
- MEMS固态风速风向传感器的设计与制作被引量：3
- 2007年
- 风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位。基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点。设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式测风传感器,用流体力学原理对这两种风速风向传感器进行了理论分析及ANSYS CFD软件模拟仿真,得出了风速与挠度、剪切力的关系。用惠斯通电桥测量传感器输出信号,通过单个传感器的二次封装测量风向信号。制作出了硅悬梁式测风传感器,并进行了初步测试。
- 杜利东赵湛庞程
- 关键词：MEMS技术ANSYS分析风速风向硅薄膜
- MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制被引量：4
- 2007年
- 基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺:利用KOH各向异性腐蚀进行硅片大面积、大深度腐蚀减薄,分析了其浓度配比对硅面平整度特性的影响,采用阳极键合形成真空腔,试验反应离子深刻蚀形成硅膜的效果。芯片测试结果表明方案可行。
- 庞程赵湛杜利东
- 关键词：电容压力传感器各向异性腐蚀阳极键合反应离子深刻蚀
- 一种微型电容式风速传感器
- 本发明提出了一种微型电容式风速传感器，包括：薄板、电极、支撑柱、引出电极和衬底。薄板是被风吹动的敏感结构；两个电极分别和薄板构成电容器，两个电容器串联，其等效电容由引出电极引出，用作测量结构；风力作用使薄板发生弯曲形变，...
- 赵湛韩有君杜利东庞程方震
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微型固态拖动力式测风传感器(英文)被引量：2
- 2009年
- 为了获得风速风向的信息,制作了一种拖动力式微型固态测风传感器.它包括两个正交封装的单元,每个单元用来独立地测量风速,含有一个薄平板和两个用来连接平板和硅衬底的短悬梁.由于当风从不同角度吹过传感器时悬梁上的应变不同,因此通过测量单个单元悬梁上的应变值可获得风速值,同时通过正交组装两个测风速单元获得风向值.该传感器在ANSYS软件中进行了模拟,用流体力学进行了分析,并在小型风洞中进行了测试.结果表明在输入电源电压为0.5V时传感器最大灵敏度高达60μV/(m·s-1),风向测量的线性度小于6%.
- 杜利东赵湛庞程方震刘泳宏
- 关键词：风速风向传感器MEMS拖动力ANSYS
- 一种微型测风单元交叉封装式风速风向传感器
- 本发明一种微型测风单元交叉封装式风速风向传感器，包括独立的微型薄板式测风单元，各单元交叉封装；每个测风单元包括：支撑体、薄板、敏感梁、应变传感器。薄板是被风吹动的结构；敏感梁用作测量结构，风吹薄板引起敏感梁的弯曲形变，通...
- 赵湛杜利东庞程方震
- 文献传递
- 一种微型测风单元交叉封装式风速风向传感器
- 本发明一种微型测风单元交叉封装式风速风向传感器，包括独立的微型薄板式测风单元，各单元交叉封装；每个测风单元包括：支撑体、薄板、敏感梁、应变传感器。薄板是被风吹动的结构；敏感梁用作测量结构，风吹薄板引起敏感梁的弯曲形变，通...
- 赵湛杜利东庞程方震
- 文献传递
- 电阻热效应对力式微固态测风传感器测量精度的影响被引量：1
- 2009年
- 本文就电阻热效应对基于风的拖动力原理的微型固态测风传感器测量精度的影响进行了研究。微型固态测风传感器通过溅射在悬梁上的铂电阻测量悬梁弯曲应变来获得风速信息和简单的风向信息。风吹过铂电阻时,除了应变引起电阻阻值变化外,由于热传导、对流、辐射等热效应,其阻值也会随着风速的变化而变化。当热效应引起的电阻的变化趋势和应变引起的电阻变化趋势相反时,传感器的输出先减小后增大,风速测量产生较大误差。文中对两种铂电阻在悬梁上的放置连接方式的传感器进行了理论分析,通过对利用MEMS工艺制作的两种传感器的测试,证实理论分析与实验结果相符。
- 杜利东赵湛庞程方震韩有君翟文业刘泳宏
- 关键词：测风MEMS热效应电桥
- MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制
- 基于 MEMS 的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用 ANSYS 软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态,得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺：利用 KOH 各向异性...
- 庞程赵湛杜利东
- 关键词：电容压力传感器各向异性腐蚀阳极键合反应离子深刻蚀
- 文献传递
- MEMS固态风速风向传感器的设计与制作
- 风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位。基于 MEMS 技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点。设计了两种基于 MEMS 工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式测风传感器,用流体力学...
- 杜利东赵湛庞程
- 关键词：风速风向硅薄膜
- 文献传递
- 一种微型电容式风速传感器
- 本发明提出了一种微型电容式风速传感器，包括：薄板、电极、支撑柱、引出电极和衬底。薄板是被风吹动的敏感结构；两个电极分别和薄板构成电容器，两个电容器串联，其等效电容由引出电极引出，用作测量结构；风力作用使薄板发生弯曲形变，...
- 赵湛韩有君杜利东庞程方震
- 文献传递
