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常学森

作品数:16 被引量:65H指数:5
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信理学环境科学与工程更多>>

文献类型

  • 9篇期刊文章
  • 7篇会议论文

领域

  • 12篇一般工业技术
  • 3篇电子电信
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇理学

主题

  • 5篇真空泵
  • 5篇水性
  • 5篇亲水性
  • 5篇干泵
  • 4篇溅射
  • 4篇高真空
  • 4篇干式真空泵
  • 4篇磁控
  • 4篇磁控溅射
  • 3篇氧化钛
  • 3篇纳米
  • 3篇纳米二氧化钛
  • 3篇二氧化钛
  • 3篇反应溅射
  • 3篇TIO2薄膜
  • 2篇型线
  • 2篇型线设计
  • 2篇氧流量
  • 2篇湿敏
  • 2篇湿敏特性

机构

  • 16篇东北大学
  • 7篇中国科学院金...
  • 2篇中国科学院
  • 1篇辽宁中医药大...
  • 1篇沈阳大学

作者

  • 16篇常学森
  • 12篇巴德纯
  • 12篇刘坤
  • 6篇杨乃恒
  • 5篇陈瑶
  • 5篇李涛
  • 4篇闻立时
  • 2篇张健
  • 2篇张振厚
  • 2篇李飞
  • 2篇王光玉
  • 1篇张娜
  • 1篇王玉静
  • 1篇张富春
  • 1篇金璐
  • 1篇杜昊
  • 1篇边华

传媒

  • 3篇真空
  • 3篇真空科学与技...
  • 2篇真空与低温
  • 2篇07中国(华...
  • 2篇第八届全国真...
  • 1篇辽宁工学院学...
  • 1篇2005’全...

年份

  • 1篇2008
  • 11篇2007
  • 2篇2006
  • 1篇2005
  • 1篇2003
16 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
国外高真空直排大气干泵研发的最新进展
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
关键词:干式真空泵高真空半导体设备
文献传递
国外高真空直排大气干泵的发展现状
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
关键词:干式真空泵高真空
文献传递
磁控反应溅射TiO_2薄膜的实验研究被引量:1
2006年
应用直流和中频交流程序自动控制磁控溅射设备,利用金属T i靶、纯F e靶制备出了有一定厚度的质量较好的不同氧流量的F e掺杂T iO2薄膜,T iO2薄膜被沉积在玻璃基底上。薄膜的制备用程序控制。通过在T iO2薄膜中形成一定的结构,并利用各种分析测试手段对其性能进行了测试,初步探讨了不同氧流量对T iO2薄膜的影响。实验表明程序自动控制不同氧流量F e掺杂T iO2薄膜的特性有了很大改变。
常学森巴德纯闻立时刘坤李飞张健
关键词:纳米二氧化钛薄膜氧流量亲水性磁控溅射
二氧化钛功能薄膜理论分析与研究进展被引量:10
2006年
介绍了二氧化钛薄膜在催化和亲水方面的特性,对已有结论作了客观分析比较后,肯定了二氧化钛薄膜催化作用的一个重要的前提条件是电子空穴的保持和有效的传输,到达催化分界面。并且二氧化钛薄膜亲水作用的另一个重要条件是吸附中心必须合理分布的观点。本文对二氧化钛薄膜的气敏和湿敏特性进行了简单介绍,指出了二氧化钛薄膜除了催化和亲水的应用外,在传感器领域也将占有重要的一席之地。
常学森巴德纯闻立时刘坤杜昊
关键词:纳米二氧化钛光催化亲水性气敏特性湿敏特性
太阳能产业的真空解决方案的最新进展
使用可再生能源是解决化石燃料枯竭和全球变暖问题的根本方法。应用高新技术促进可再生能源的应用,保护环境将是未来产业和经济发展的主旋律。真空技术是光伏(太阳能)产业的核心技术之一,它广泛的应用于基片制造,薄膜淀积和电池封装等...
刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
关键词:太阳能可再生能源真空技术层压工艺
文献传递
二氧化钛功能薄膜理论分析与研究进展
本文介绍了二氧化钛薄膜在催化和亲水方面的特性,对已有结论作了客观分析,提出了二氧化钛薄膜催化作用的另一个重要的前提条件是电子空穴的保持和有效的传输,并且到达催化分界面的新观点。提出了二氧化钛薄膜亲水作用的另一个重要的条件...
常学森巴德纯闻立时刘坤
关键词:光催化亲水性气敏特性湿敏特性
文献传递
国外高真空直排大气干泵的发展现状
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气...
刘坤巴德纯杨乃恒常学森李涛陈瑶
关键词:干式真空泵高真空
文献传递
TiO2薄膜表面能计算
应用反应磁控溅射技术,在玻璃基底(载玻片)上制备出纳米TiO2薄膜,X射线衍射 (XRD)分析表明薄膜为锐钛矿相,纳米TiO2薄膜经紫外光照射后具有优良的亲水性能。采用上海中晨电动自动调节型接触角仪,对紫外灯照射前后的薄...
常学森巴德纯闻立时刘坤
关键词:TIO2薄膜表面能接触角亲水性
文献传递
工业污染的防治与环境保护策略被引量:1
2003年
从废弃物与污染物的新定义,对工业污染防治进行了一系统规划,旨在使污染企业,尤其是冶金企业能以废弃物形成新的资源,变废弃物为新的产品,从而减少对环境危害。
王玉静边华张富春常学森张娜
关键词:工业污染环境保护废弃物污染物能源
磁控溅射TiO_2膜的真空度对薄膜亲水性影响的实验研究被引量:7
2007年
采用反应溅射技术可以制备出具有亲水作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜断面呈现柱状晶体结构。薄膜表面出现不规则起伏。薄膜的晶相主体均为锐钛矿型。TiO2薄膜的光透射谱变化不大。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以降低水和TiO2薄膜表面之间的接触角。不同工艺条件下制备的TiO2薄膜接触角相差很大。在纯氧条件下,薄膜制备的真空度对薄膜的亲水性有着决定性的影响。
巴德纯常学森闻立时刘坤
关键词:TIO2薄膜反应溅射真空度
共2页<12>
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