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崔晓光
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
燕山大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
杨震
燕山大学理学院
张伟亮
燕山大学理学院
房晓勇
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差分式微光纤加速度传感器的仿真设计
基于MEMS技术的微加速度传感器是采用微机械加工技术制造出来的一种传感器。与传统的加速度传感器相比,它具有重量轻、体积小、低功耗、高可靠性、高灵敏度等优点。目前,微型加速度传感器的测量原理主要集中在压阻式、压电式、电容式...
崔晓光
关键词:
光纤传感器
加速度测量
文献传递
MEMS新型光纤加速度传感器设计
被引量:1
2010年
由于微机械系统的广泛应用,微加速度传感器的设计日趋多元化,现给出一种光强调制型麦克尔逊微光纤加速度传感器,阐述了该种干涉型光纤加速度计的结构设计及工作原理,仅使用光纤进行传输,有效地避免了光纤各类形变造成的影响。
张伟亮
房晓勇
崔晓光
杨震
关键词:
MEMS
光纤加速度计
光强
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