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尤晶晶
作品数:
7
被引量:9
H指数:2
供职机构:
南京师范大学
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发文基金:
江苏省科技厅产学研前瞻性项目
国家自然科学基金
江苏省普通高校研究生科研创新计划项目
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相关领域:
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合作作者
戴丽华
南京师范大学物理科学与技术学院...
王鸣
南京师范大学物理科学与技术学院...
朱佳利
南京师范大学物理科学与技术学院...
戎华
南京师范大学物理科学与技术学院...
张丛丛
南京师范大学
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2012
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基于SU-8光刻胶的光纤加速度传感器的研究
目前越来越多的工业应用,特别是一些特殊应用领域,如桥梁建筑的结构检测系统、交通监测系统、石油勘探的地震检波系统、以及航空航天的制导系统等,急需一种具有抗电磁干扰、灵敏度高、动态范围大、复用性强的高性能加速度传感装置。基于...
尤晶晶
关键词:
光纤传感
加速度传感器
SU-8光刻胶
文献传递
微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器,是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的:在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽,位移柱的端面以及光纤的端面形成法...
王鸣
戴丽华
蔡东艳
朱佳利
贾晟
尤晶晶
张丛丛
文献传递
一种光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法
本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构,质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为...
王鸣
尤晶晶
戴丽华
朱佳利
文献传递
一种光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法
本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构,质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为...
王鸣
尤晶晶
戴丽华
朱佳利
文献传递
基于SU-8光刻胶光纤法布里-珀罗加速度传感器
被引量:7
2013年
基于SU-8光刻胶的高深宽比加工技术,设计了对加速度敏感的悬臂梁-质量块结构。理论推导了加速度与SU-8光刻胶悬臂梁-质量块结构的挠度、法布里-珀罗(F-P)腔的干涉光强之间的关系,得到了简化的计算公式,并讨论了传感器灵敏度和固有频率等主要影响因素。提出了一种新的"卍"形悬臂梁-质量块结构,分析和确定了传感器结构的各项参数。研究结果表明,"卍"形SU-8光刻胶结构能够得到较高的灵敏度,具有良好的检测模态,仿真结果与理论分析吻合,可以基于法布里-珀罗干涉原理实现对加速度的传感。
尤晶晶
王鸣
戎华
戴丽华
关键词:
传感器
加速度传感器
SU-8光刻胶
微型法布里-珀罗干涉剪应力传感器的设计及仿真
被引量:2
2012年
针对微流体检测对高灵敏度和较大动态测量范围的要求,设计了一种由SU-8光刻胶一体合成的微型法布里-珀罗(F-P)干涉剪应力传感器。结构兼具SU-8胶微尺寸材料优越的力学性能和法布里-珀罗传感测量高精度和抗干扰性的优点,采用新型组合型浮动块设计,利用圆柱状底座提高对敏感膜形变的感知,提高传感器的结构响应。探讨了提高剪应力灵敏度和线性度的方法,通过CoventorWare软件数值模拟,确定模型的最优参数,仿真计算得出在o~10Pa范围内其灵敏度可以达到0.252nm/Pa(光谱偏移/剪应力);相比较于传统的设计,在相同的作用下,组合型浮动块的机械位移量增加了约40.85%,提高了敏感元件的灵敏度。仿真结果表明,该模型由于采用一体化材料可以降低工作环境温度对传感器的影响,同时具备可靠的性能,为剪应力传感器设计的改进提出了可行的方案。
戴丽华
王鸣
戎华
尤晶晶
朱佳利
关键词:
传感器
剪应力
微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器及其制备方法
本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器,是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的:在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽,位移柱的端面以及光纤的端面形成法...
王鸣
戴丽华
蔡东艳
朱佳利
贾晟
尤晶晶
张丛丛
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