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封玮

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇微悬臂梁
  • 1篇热振动

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇封玮
  • 1篇左燕生
  • 1篇林云生
  • 1篇韩立

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 2篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
热振动法标定微悬臂梁法向弹性系数
2007年
微机械加工制造的微悬臂梁(探针)作为原子力显微镜中的核心组件,已经成为微米纳米尺度下科学研究的重要工具,能否准确标定微悬臂的弹性系数将影响所测力学量的最终结果。介绍了利用热噪声法标定探针的方法,分析了热振动法的原理及其修正公式。通过改进AFM系统的光路和位移检测器的前置放大电路,提高了探针法向弹性系数标定方法的精度,并设计了升温装置,对热噪声法的校正公式进行了验证,结果表明,实验与理论公式可以比较好的吻合。
封玮左燕生林云生韩立
关键词：微悬臂梁原子力显微镜热振动
原子力显微镜中力的标定及应用
随着纳米科学技术的不断发展，原子力显微镜(Atomic Force Microscope．AFM)已经成为人们研究微观物质世界的重要工具。AFM不仅应用于样品表面原子形貌的观察，而且被广泛用于纳米尺度下的化学键、高分子机...
封玮
关键词：微悬臂梁原子力显微镜
文献传递
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