孙娟 作品数:13 被引量:6 H指数:2 供职机构: 南京电子器件研究所 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
在(311)A GaAs衬底上生长的Si掺杂GaAs/AlGaAs P沟道HFET结构材料特性研究 利用MBE技术在(311)A GaAs衬底上生长了Si掺杂GaAs/AlGaAs P沟道HFET结构材料。通过控制V/III束流和其它生长参数优化了材料的生长条件。仅仅通过Si掺杂获得P型GaAs和AlGaAs材料研制生... 孙娟 谢自力 邱凯 尹志军关键词:GAAS衬底 P沟道 MBE技术 文献传递 (311)A GaAs衬底掺Si GaAs/AlGaAs p沟HFET结构材料特性 利用MBE技术在(311)A GaAs衬底上生长了Si掺杂GaAs/AlGaAs p沟道HFE结构材料。通过控制Ⅴ/Ⅲ束流和其他生长参数,优化了材料的生长条件。通过Si掺杂获得p型GaAs和AlGaAs材料,研制生长了微... 孙娟 谢自力 邱凯 尹志军关键词:分子束外延 P沟道 文献传递 分子束外延生长Al_xGa_(1-x)As/GaAs超晶格及结构、光学特性研究 1993年 报道了分子束外延生长80个周期的Al_xGa_(1-x)As/GaAs超晶格,X射线衍射和透射电镜的结果表明超晶格样品有良好的结构特性,光反射光谱观察到阱内的电子跃迁过程,其结果与理论计算相符。 张允强 高翔 彭正夫 孙娟 蒋树声 章灵军关键词:分子束外延 超晶格 应变超晶格In_(0.15)Ga_(0.85)As/GaAs的电镜和光谱研究 1993年 用光调制反射谱和透射电镜技术研究分子束外延生长的应变超晶格In_(0.15)Ga_(0.85)As/GaAs,并讨论了实验结果。 高翔 张允强 孙娟 彭正夫 蒋树声 章灵军关键词:分子束外延 INGAAS/GAAS 电镜 Al_xGa_(1-x)As/GaAs调制掺杂结构的生长研究 被引量:4 1992年 用分子束外延生长Al_xGa_(1-x)As/GaAs调制掺杂结构。范德堡法、光荧光谱和电化学C—V等方法测量了电学和光学特性。连续波电光检测证明材料有较好的均匀性。用该结构材料制作的HEMT器件在12GHz下,噪声系数0.76dB,相关增益6.5dB。 张允强 彭正夫 高翔 孙娟 黄文裕关键词:分子束 异质结 调制掺杂 MBE生长In_(0.52)Al_(0.48)AS/In_(0.53)Ga_(0.47)AS/InP材料 1993年 人们普遍认为,InAlAs/InGaAs/InP系统是极有发展前途的低噪声、高频器件材料。因为与InP晶格匹配的In_xGa_(1-x)As中In组分x值为0.53,这比In_(x≤0.2)Ga_(1-x)As/GaAs赝配结构中In组分大得多,从而有大的电子饱和速度(2.6×10~7cm/s)和高的室温迁移率(~10000cm^2/V·s)。大的导带不连续性(0.5eV),使量子阱对电子的限制作用增强,且掺杂浓度高,因而二维电子气(2DEG)密度大。测量结果还表明,掺杂InAlAs中不存在类似AlGaAs中的DX中心。 彭正夫 张允强 高翔 孙娟 吴鹏关键词:半导体材料 化合物半导体 InGaAs/GaAs异质结构材料及器件应用 1994年 概述了InGaAs/GaAs异质结构材料用于制作微波器件的优越性,叙述了材料的MBE生长、输运特性和掺杂分布,以及用于制作Ku波段低噪声高增益HFET的结果:栅长0.5μm,12GHz下噪声系数0.93dB,相关增益9dB。 彭正夫 张允强 龚朝阳 高翔 孙娟 吴鹏关键词:微波器件 INGAAS/GAAS NDR系列声表面波谐振器批生产技术研究 1998年 声表面波谐振器作为频率控制元件,要求谐振频率准确,批量生产技术难度较大。本文对批生产的要素,关键工艺技术和工艺过程质量控制等方面进行了讨论。已批量生产的NOR系列声表面波谐振器三大系列百余品种,性能均达到国外同类器件水平,生产线通过ISO9002质量保证体系认证。 陈培棣 蒋海涛 尤民 孙娟 夏兆锋关键词:声表面波 声表面波器件 谐振器 调制掺杂AlGaAs/InGaAs/GaAs应变量子阱结构的研究 被引量:2 1992年 报道调制掺杂AlGaAs/InGaAs/GaAs应变量子阱结构的分子束外延生长、变温霍尔效应和电化学c—v测量,并对输运性质进行了讨论。用这种材料研制的PM-HEMT(pseudomorphic high electron mobility transistors)器件,栅长0.4μm,在12GHz下噪声系数1.03dB,相关增益7.5dB。 彭正夫 张允强 高翔 孙娟 朱顺才关键词:分子束外延 调制掺杂 InGaAs/GaAs HFET研制取得初步结果 1992年 众所周知,GaAs MESFET器件的微波特性主要由沟道中的电子饱和速度和栅长决定。由于InGaAs的电子饱和速度比GaAs的大,用InGaAs替代GaAs作沟道就可以改善器件的微波性能。为此进行了InGaAs/GaAs HFET的研究。HFET的结构与n^+-AlGaAs/InGaAs/GaAs HEMT(PM-HEMT)结构比较有下述几个特点:①由于不含Al组分,就不存在所谓DX中心深能级的问题;②提供载流子的n-GaAs层的掺杂浓度比n^+-AlGaAs层的低,故器件的击穿电压高,这很适合制作功率器件;③器件工艺与通常的GaAs MESFET相同,器件的可靠性问题容易解决。 彭正夫 张允强 龚朝阳 高翔 孙娟关键词:场效应器件 MESFET