周明
- 作品数：11 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 一种耐紫外辐照的银金合金薄膜及制备方法
- 本发明公开了一种耐紫外辐照的银金合金薄膜及制备方法。该薄膜采用金属银和金为沉积材料，其中金材料为掺杂材料。采用真空镀膜机同时蒸发银和金两种材料，控制各个蒸发舟的蒸发电流，保持银和金材料的沉积速率比。获得厚度15纳米左右最...
- 周明丁逸君周晟刘定权
- 文献传递
- 一种用于光谱设备的光束精确校准辅助装置
- 本发明公开了一种用于光谱设备光束精确校准的辅助装置，它由一个能适应多种光路的空间调整机构和反射镜支撑装置组成空间位置调整机构，由两块可旋转角度反射镜和一块可变光程固定角度反射镜组成V型光路调整机构。该装置能保证不改变原光...
- 周明刘定权蔡清元张莉
- 一种混合材料的薄膜电阻蒸发沉积装置
- 本发明公开了一种混合材料的薄膜电阻蒸发装置。装置采用单个电源和单个变压设备，而多个蒸发舟并联接入电路。根据电阻公式R＝ρ·L/S，ρ为电阻的电阻率，L为电阻的长度，S为电阻的横截面积。在蒸发舟材料，厚度和长度固定的情况下...
- 周明丁逸君张莉刘定权
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- 一种用于光谱设备的光束精确校准辅助装置
- 本发明公开了一种用于光谱设备光束精确校准的辅助装置，它由一个能适应多种光路的空间调整机构和反射镜支撑装置组成空间位置调整机构，由两块可旋转角度反射镜和一块可变光程固定角度反射镜组成V型光路调整机构。该装置能保证不改变原光...
- 周明刘定权蔡清元张莉
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- 一种宽光谱带外抑制光学滤光片
- 本发明公开了一种宽光谱带外抑制光学滤光片，在光学基片的两面分别制备滤光片的主峰膜系和带外抑制膜系。滤光片主峰选用全介质薄膜材料，采用多谐振腔F-P结构或前后截止膜系结构，滤光片带外抑制选用介质与金属薄膜材料组合，利用诱导...
- 段微波刘定权李大琪陈刚余德明周明黄伟庆王志华
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- 用于光谱设备的光束精确校准辅助装置
- 本专利公开了一种用于光谱设备光束精确校准的辅助装置，它由一个能适应多种光路的空间调整机构和反射镜支撑装置组成空间位置调整机构，由两块可旋转角度反射镜和一块可变光程固定角度反射镜组成V型光路调整机构。该装置能保证不改变原光...
- 周明刘定权蔡清元张莉
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- 光学极值法监控薄膜生长的误差控制研究
- 蔡清元刘定权郑玉祥罗海瀚周明陈良尧
- 空间分束法消除椭偏测量背反误差
- 2013年
- 在探索空间分束法消除椭偏测试中背反杂光干扰的过程中,发现该方案能够使光束在待测样品前表面聚焦,后表面发散,发散的背反光将无法进入到探测器中,从而消除背反光的影响。选用石英玻璃和氧化铌单层膜为实验样品,分为3组,分别采用直接测量、背部打磨和空间分束三种测量模式。实验结果表明,样品未经处理情况下,不同角度直接测量得到石英玻璃折射率值差别较大,经过背部打磨后不同角度下得到石英玻璃折射率趋向一致,而采用空间光学分束处理后,石英玻璃折射率在不同角度下测试获得相同的数据。最后采用空间分束法对氧化铌单层膜进行椭偏测量,获得了较好的拟合数据。
- 周明陈刚刘定权
- 关键词：背反椭偏法光学常数
- 混合材料的薄膜电阻蒸发沉积装置
- 本专利公开了一种混合材料的薄膜电阻蒸发装置。装置采用单个电源和单个变压设备，而多个蒸发舟并联接入电路。根据电阻公式R＝ρ·L/S，ρ为电阻的电阻率，L为电阻的长度，S为电阻的横截面积。在蒸发舟材料，厚度和长度固定的情况下...
- 周明丁逸君张莉刘定权
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- 宽光谱带外抑制光学滤光片
- 本实用新型公开了一种宽光谱带外抑制光学滤光片，在光学基片1的两个工作表面上，分别制备全介质主峰膜系2和D/M/D结构带外抑制膜系3。在光学基片1的一个表面上采用多层高稳定的全介质主峰膜系2，在另一表面上采用D/M/D结构...
- 段微波刘定权李大琪陈刚余德明周明黄伟庆王志华
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