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刘魏
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上海理工大学
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王宏峰
上海理工大学
迟玉伦
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陈道炯
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1篇
2010
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三自由度一体式柔性精密定位平台
本实用新型涉及一种三自由度一体式柔性精密定位平台,包括运动平台,基座。运动平台与基座之间通过四组微位移放大机构连接;且四组微位移放大机构呈90°交叉分布在基座与运动平台之间。本实用新型能达到纳米级定位精度,定位平台具有很...
王宏峰
陈道炯
刘魏
迟玉伦
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