刘玉圣
- 作品数：8 被引量：36H指数：4
- 供职机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 微器件表面3D形貌的新型微/纳米探头测量系统被引量：7
- 2006年
- 采用DVD光碟机的激光读取头,开发出微器件表面3D形貌的新型微/纳米测量系统。分析了激光读取头内部结构与运作原理,当反射面不在聚焦位置时,经四象限传感器探测聚焦误差信号(FES),驱动音圈马达以带动物镜重回聚焦位置,完成自动聚焦过程。并对音圈马达具有的磁滞现象加以研究,应用Preisach磁滞模型补偿磁滞误差,进而提高激光读取头在测量方面的精确度。结合HP激光干涉仪对测头不同测量范围的标准差与重复性进行校正测量,由校正的结果分析,此测头系统可实现微器件表面3D形貌的微/纳米测量。
- 陈叶金范光照刘玉圣
- 关键词：计量学音圈马达
- 多功能纳米激光测量头
- 多功能纳米激光测量头，其特征是采用集成化的光学读取头，以其光学读取头中极光二极管作为激光光源器件，激光光束经光栅衍射后形成检测光，再经分光镜和准直透镜输出准直光源，各器件固装在壳体内，壳体对应位置上设置准直光输出端口；同...
- 范光照陈叶金赵静刘玉圣
- 文献传递
- 高精度线性衍射光栅干涉仪系统的研制
- 随着微电子产业的发展，对在长行程范围内具有微米级甚至纳米级分辨率的定位系统的要求愈发迫切，工业界中应用较多的是各类激光干涉仪，虽然激光干涉仪具有高精度，高分辨率，测量范围大的优点，但是其价格昂贵且测量精度易受环境的影响。...
- 刘玉圣
- 关键词：光栅干涉仪衍射偏振信号处理
- 文献传递
- 微器件表面形貌的微、纳米测量装置
- 微器件表面形貌的微、纳米测量装置，其特征是采用集成化的光学读取头，以光学读取头中极光二极管作为激光光源器件，针对激光二极管设置功率控制电路，在光学读取头的四象限电压信号A、B、C、D输出端设置四象限信号放大运算电路，所得...
- 范光照陈叶金赵静刘玉圣
- 文献传递
- DVD激光读取头音圈马达寻迹静态特性研究被引量：4
- 2006年
- 采用CCD的图像边缘检测方法测量DVD激光读取头音圈马达(VCM)寻迹的静态特性。通过系统的架设测量音圈马达驱动电压与音圈马达弹性臂影像在CCD中对应的位置,经过图像边缘检测软件处理,得到音圈马达寻迹单方向的驱动电压与对应位移的关系。实验结果表明,音圈马达寻迹单方向的线性范围大约为300μm,双方向运动为600μm,从实验曲线数据处理得到线性范围内存在的磁滞误差,并对磁滞误差进行了分析。
- 陈叶金范光照刘玉圣
- 关键词：图像边缘检测音圈马达寻迹
- 基于共平面二维工作平台的精密测量系统被引量：12
- 2005年
- 介绍了新型共平面精密二维平台的机械设计与精密测量系统的研发.机械结构引入共平面理论,使得X方向和Y方向的导轨面在同一高度平面,减小了Z向阿贝误差和累积误差,兼顾对称设计,减小力变形、热变形;研制出高精度线性衍射光栅干涉仪,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,配合信号细分原理,使得该系统可以达到纳米级分辨率.
- 王伟丽范光照刘玉圣
