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冯斌
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中国科学院物理研究所
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顾长志
中国科学院物理研究所
窦艳
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冯斌
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顾长志
年份
1篇
2005
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热灯丝化学气相沉积装置中的加热器
本实用新型涉及一种均匀生长大面积薄膜的热灯丝化学气相沉积装置中由灯丝排布与灯丝架组成的加热器。它包括:灯丝、灯丝固定器、螺丝和支腿、弹簧和灯丝挂板;2根灯丝固定器分别横架在2根金属支腿顶上用螺母固定;灯丝固定器的一侧壁上...
顾长志
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